[发明专利]光控制元件及其制造方法

权利要求书

1.一种光控制元件，具有形成有光波导的基板，其特征在于，

该基板为厚度10μm以下的薄板，

该光波导的至少一部分为脊型波导，

在该脊型波导的至少一部分的两侧具有宽度10μm以下的沟槽，

具有通过使该沟槽的宽度或深度连续变化而使该波导的光传播模式在单模和多模之间连续变化的锥形波导部。

2.根据权利要求1所述的光控制元件，其特征在于，

该锥形波导部被配置在入射部或出射部的至少任一方，在锥形波导部中波导光被变换为单模光。

3.根据权利要求1或2所述的光控制元件，其特征在于，

该锥形波导部相对于通过该光波导的中心的纵断面呈大致对称形状。

4.根据权利要求1或2所述的光控制元件，其特征在于，

该锥形波导部相对于通过该光波导的中心的纵断面呈非对称形状。

5.根据权利要求1所述的光控制元件，其特征在于，

该基板具有非线性光效应、电光效应、焦电效应或压电效应。

6.根据权利要求5所述的光控制元件，其特征在于，

该基板为LiNbO₃、LiTaO₃或KTiOPO₄。

7.根据权利要求1所述的光控制元件，其特征在于，

该脊型波导的至少一部分是使用聚焦离子束或激光束加工的任一方而被形成的。

8.根据权利要求1所述的光控制元件，其特征在于，

该脊型波导，由蚀刻或机械加工进行一次加工后，由聚焦离子束或激光束加工的至少任一方进行最后加工。

9.一种光控制元件的制造方法，用于制造权利要求8所述的光控制元件，其特征在于，

将光导入该光控制元件，

一边计测该导入的光，一边进行最后的加工。