[发明专利]用于CMOS图像传感器的像素阵列结构和方法无效

专利信息
申请号: 200780008545.5 申请日: 2007-03-14
公开(公告)号: CN101401207A 公开(公告)日: 2009-04-01
发明(设计)人: 李道永 申请(专利权)人: (株)赛丽康
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 代理人: 余 朦;王艳春
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 cmos 图像传感器 像素 阵列 结构 方法
【说明书】:

技术领域

本发明涉及图像传感器,更具体地,涉及像素阵列结构和排列该像素阵列结构的方法,该方法能够以菱形图案排列互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的像素,以及将MOS像素晶体管设置于像素的光电二极管之间。

背景技术

图像传感器是一种用于将光学图像转换为电信号的元件。一般而言,广泛地使用电荷耦合器件(CCD)图像传感器和互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。

在CCD图像传感器中,MOS电容器相互靠近设置,电荷载流子存储在电容器中,且存储的电荷根据门信号进行移动。

在CMOS图像传感器中,使用了开关方法,在开关方法中,控制电路和信号处理电路用作外围电路,并根据所需像素的数目组合光电二极管和MOS晶体管以组成单位像素(unit pixel),并使用单位像素连续地检测输出。

CCD元件尽管存在光学传感单元和信号处理单元分开制造的问题,但是其具有很好的分辨率。因此,CCD图像传感器广泛用于可携式摄像机和科学或医学领域中的照相机。

CMOS图像传感器具有能够将像素阵列、像素驱动单元和用于处理信号的电路包括在单个芯片中的优点。因此,CMOS图像传感器广泛用于大众化的个人计算机(PC)照相机、移动电话照相机、玩具和双模式照相机。

如图1所示,CMOS图像传感器的单位像素100可具有3T结构,该3T结构包括由光电二极管DPD和三个MOS晶体管MRX、MSF及MSEL表示的光学传感元件,或者如图2所示,CMOS图像传感器的单位像素200可具有4T结构,该4T结构包括光传感元件DPD和四个MOS晶体管MTX、MRX、MSF及MSEL

现在参考图1详细描述作为CMOS图像传感器的主要组件的单位像素的操作。

输入复位信号RX,所有像素通过复位晶体管MRX保持在起始状态。当切断复位信号RX时,由微透镜(未示出)会聚的光信号通过光电二极管DPD转换为电信号。光电二极管两端的电流的幅度根据光信号的幅度而改变。另外,具有不同幅度的像素信号通过源跟随晶体管MSF和由适当的选择信号SEL操作的选择晶体管MSEL传输至输出线OUT。第2002-0094607(2002.12.18)号名称为“A pixel array methodof a CMOS image sensor(CMOS图像传感器的像素阵列方法)”的韩国专利申请公开了一种排列CMOS图像传感器的单位像素100和200的传统方法。

现在,为了便于说明,参照图3描述根据传统发明的像素阵列方法。传统上,如图3所示,单位像素300设置于行和列交叉的位置。

虽然未在图中示出,但是当邻近的四个像素的中心点相连时,则显示出具有水平线和垂直线的正方形。

图4示出了根据传统阵列方法的像素的示意性的布局图。每个单位像素构造有由光电二极管代表的光学传感元件10和MOS晶体管电路单元20。由于单位像素必须制造成彼此电隔离,因此单位像素以预定的间隔连续地设置。该间隔被称为间距(pitch)。当单位像素以小于预定间距的间隔连续地设置时,则超过了制造工艺所允许的分辨能力限度,因此单位像素之间的电隔离是不可能的。

在图4中所示的行间距Pr代表一行中的像素与下一行中的像素的距离,即,行间的单位距离。

列间距Pc代表一列中的像素与下一列中的像素的距离,即,列间的单位距离。

距离d1代表两个光学传感元件10之间的最小距离。

如图4所示,填满光学传感元件10的区域比(region ratio)在每个单位像素中是最大的。因此,光学传感元件10的尺寸决定单位像素之间的间距Pc和Pr。当光学传感元件10的尺寸增大时,间距Pc和Pr也增大。

间距Pc和Pr,以及距离d1由制造半导体元件的微制造技术决定。本领域技术人员熟知的是,当制造技术确定时,间距和距离也确定为固定值。众所周知的是,当包括光学传感元件10的单位像素制造为具有小于制造技术中确定的间距Pc、Pr和距离d1时,元件之间的电隔离和物理隔离将无法保持,并且元件的正确操作也无法保证。

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