[发明专利]滚动轴承及其制造方法

权利要求书

1.一种滚动轴承，该滚动轴承具有内圈、外圈及安装在这些内外 圈的轨道面间的多个滚动体，在从上述内圈的内周面以及上述外圈的 外周面选出的至少一个周面上具有陶瓷覆膜，其特征在于，

上述内圈以及上述外圈由轴承钢构成，

上述陶瓷覆膜通过气溶胶沉积法形成为致密的覆膜，该致密的覆 膜不连通上述陶瓷覆膜的表面和从上述内圈的内周面以及外圈的外周 面选出的至少一个周面，

上述陶瓷覆膜是把α氧化铝微粒作为气溶胶原料由上述气溶胶沉 积法形成的α氧化铝覆膜。

2.如权利要求1所述的滚动轴承，其特征在于，在上述内圈的包 含内周面的表面以及上述外圈的包含外周面的表面的至少与腐蚀性物 质接触的表面上具有上述陶瓷覆膜，在上述内圈以及外圈的轴方向两 端开口部设置密封部件。

3.如权利要求2所述的滚动轴承，其特征在于，在上述内圈以及 外圈与上述密封部件接触的部位具有上述陶瓷覆膜。

4.如权利要求1所述的滚动轴承，其特征在于，上述氧化铝微粒 的平均颗粒径是0.01μm～2μm。

5.如权利要求1所述的滚动轴承，其特征在于，上述陶瓷覆膜的 覆膜厚度是4μm～200μm。

6.一种滚动轴承的制造方法，用于制造如权利要求1所述的滚动 轴承，作为制造具有内圈、外圈以及安装在这些内外圈的轨道面间的 多个滚动体的滚动轴承的方法，其特征在于，

包括在从上述内圈的内周面以及上述外圈的外周面选出的至少一 个周面上利用气溶胶沉积法形成陶瓷覆膜的工序，

上述陶瓷覆膜通过气溶胶沉积法形成为致密的覆膜，该致密的覆 膜不连通上述陶瓷覆膜的表面和从上述内圈的内周面以及外圈的外周 面选出的至少一个周面，

上述陶瓷覆膜是把α氧化铝微粒作为气溶胶原料由上述气溶胶沉 积法形成的α氧化铝覆膜。

7.如权利要求6所述的滚动轴承的制造方法，其特征在于，固定 气溶胶喷射喷嘴，使用对象物转动用马达使上述外圈或上述内圈转动， 同时使用定位用XY台使上述外圈或上述内圈在轴方向移动，由此来 进行利用上述气溶胶沉积法的陶瓷覆膜的形成。