[发明专利]导电性接触器单元

说明书

技术领域

本发明涉及一种进行液晶面板和半导体集成电路等的电子部件的导通状态检查和工作特性检查时，与该电子部件的电极和端子接触进行电信号的发送接收的导电性接触器单元。 

背景技术

过去，在涉及半导体集成电路等的检查对象的电气特性检查的技术领域中，已知一种涉及导电性接触器单元的技术，该单元具有通过与半导体集成电路的连接端子对应配置多个导电性接触器(探针)，使导电性接触器物理性地接触到连接端子来确保电气的导通的功能。相关的导电性接触器单元具有至少包括多个导电性接触器、保持导电性接触器的导电性接触器保持具的结构。在这样的导电性接触器单元中，为了能够对应伴随作为检查对象的半导体集成电路等的微细化倾向的连接端子的排列间隔的狭窄化，提案出缩窄多个导电性接触器的排列间隔的各种各样的技术。 

例如，作为实现排列间隔的狭窄化的导电性接触器，提案有用板状的导电性构件一体形成了与检查对象等接触的接触部及对此接触部进行弹发赋能的弹性部的结构。在此技术中，通过在板厚方向上排列板状的导电性接触器，使得在狭窄的区域配置多个导电性接触器在理论上成为可能，能够实现对应检查对象所包括的连接端子的排列间隔的狭窄化的导电性接触器(例如，参照专利文献1及2)。 

专利文献1：特开2001-343397号公报 

专利文献2：特开平10-132853号公报 

发明内容

本发明的结构为：在导电性接触器保持具上设置引导器，在此引导器  之间插入导电性接触器的导电性接触器单元的情形下，在导电性接触器和引导器之间存在空隙。由此，在导电性接触器接触到引导器同时产生负荷的情况下，由于各导电性接触器和引导器的接触位置不一致，在摩擦力中产生偏差，因而担心不能对检查对象提供稳定的检查信号。 

鉴于上述问题而进行本发明，其目的在于，提供一种减少在导电性接触器和引导器之间产生的摩擦力的偏差并能够稳定地提供检查信号的导电性接触器单元。 

本发明的一个实施方式所涉及的导电性接触器单元容纳与电路结构分别进行电信号的输入输出的多个导电性接触器、且电连接在不同的电路结构，包括：导电性接触器保持具，具有多个第1引导槽和第2引导槽，该第1引导槽可自由滑动地嵌合保持上述导电性接触器的宽度方向的一侧的边缘部，该第2引导槽与上述第1引导槽对置、且可自由滑动地嵌合保持嵌入上述第1引导槽内的上述导电性接触器的宽度方向的另一侧的边缘部；成为板状的多个上述导电性接触器，包括：与上述不同的电路结构的任意一个物理性接触的第1接触部，与上述第1接触部区别的其它电路结构物理性接触的第2接触部，插入在上述第1接触部和上述第2接触部之间、在长边方向自由伸缩的弹性部，连接上述弹性部和上述第1接触部的第1连接部，及连接上述弹性部和上述第2接触部的第2连接部；以及定位装置，定位多个上述导电性接触器。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，用上述定位装置定位的多个上述导电性接触器的宽度方向的边缘部与上述第1及第2引导槽的任意一个抵接。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，用上述定位装置定位的多个上述导电性接触器的宽度方向的边缘部不与上述第1及第2引导槽抵接。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，上述导电性接触器含有磁性材料；上述定位装置具有粘贴在上述导电性接触器保持具的侧面的磁铁。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，上述磁铁是电磁铁。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，上述导电性接触器含有磁性材料；上述定位装置具有保持上述第1及第2引导槽的保持部和埋入上述保持部内的与上述保持部一起构成磁路的磁铁。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，上述磁铁是电磁铁。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，在上述导电性接触器保持具中，形成有自上述第1及第2引导槽的一个引导槽的底面连通到该导电性接触器保持具的外部的孔部；上述定位装置具有通过上述孔部吸引上述导电性接触器保持具内部的空气的吸引部。 

此外，导电性接触器单元，其特征在于，在上述发明中，上述第1连接部和/或上述第2连接部具有贯通厚度方向的开口部；上述定位装置具有贯通容纳在上述导电性接触器保持具内的上述导电性接触器的上述开口部并使多个上述导电性接触器相对于上述导电性接触器保持具一起移动的棒状构件。