[发明专利]波长转换光学元件、波长转换光学元件的制造方法、波长转换装置、紫外线激光照射装置以及激光加工装置

权利要求书

1.一种波长转换光学元件，包含硼酸铯锂系列结晶，其特征 在于，上述结晶中的水杂质的含有量是如下这样的含有量，即在将上述 结晶加工为Nd:YAG激光的4倍高次谐波发生方位且长度为10mm的光 学元件时，将上述光学元件的红外透射频谱中的3589cm^-1的透射率Ta 作为指标，透射率Ta与偏振光方向无关且不考虑在光学研磨表面上的损 失时的实测值为1％以上的含有量。

2.根据权利要求1所述的波长转换光学元件，上述结晶中的水杂质 的含有量是如下这样的含有量，即在加工为上述光学元件时，将上述光 学元件的红外透射频谱中的3435cm^-1的透射率Ts作为指标，透射率Ts 与偏振光方向无关且不考虑在光学研磨表面上的损失时的实测值为 1.5％以上的含有量。

3.一种权利要求1所述的波长转换光学元件的制造方法，其特征在 于，该方法包括：准备硼酸铯锂系列结晶的工序；将上述结晶在大气中 在100℃以上温度下加热24小时以上的第一水分除去工序；以及

在干燥气体氛围下将上述结晶在100℃以上温度下加热24小时以上 的第二水分除去工序。

4.一种波长转换装置，该波长转换装置使光透射波长转换光学元件 而进行波长转换，上述波长转换光学元件是权利要求1所述的波长转换 光学元件。

5.根据权利要求4所述的波长转换装置，该波长转换装置进一步包 括具备入射出射光学窗的光学用单元，在上述光学用单元内配置有上述 波长转换光学元件，上述光学用单元进一步包括温度调节部件和氛围气 体置换部件，

该波长转换装置能够实施包含以下工序的水分除去处理：将未进行 水分除去处理的硼酸铯锂系列结晶配置于上述光学用单元内的配置工 序；通过上述温度调整部件在大气中将上述结晶在100℃温度下加热24 小时以上的第一水分除去工序；以及通过上述氛围气体置换部件使上述 光学用单元内成为干燥气体氛围，通过上述温度调节部件将上述结晶在 100℃以上温度下加热24小时以上的第二水分除去工序。

6.根据权利要求4所述的波长转换装置，在室温条件下实施波长转 换。

7.根据权利要求4所述的波长转换装置，在氮气含有率比空气小的 气体的氛围条件下实施波长转换。

8.一种紫外线激光照射装置，该紫外线激光照射装置包括激光光源 以及波长转换装置，对从上述激光光源照射的光进行波长转换产生紫外 线激光，上述波长转换装置是权利要求4所述的波长转换装置。

9.一种激光加工装置，该激光加工装置包括紫外线激光照射装置， 上述紫外线激光照射装置是权利要求8所述的紫外线激光照射装置。