[发明专利]导电性接触器及导电性接触器单元

说明书

技术领域

本发明是关于一种于进行液晶面板及半导体积体电路等电子元件的导通状态检查及动作特性检查时，接触于该电子元件的电极或端子以进行电气信号的接收传送之导电性接触器及使用该导电性接触器之导电性接触器单元。

背景技术

以往，关于半导体积体电路等检查对象的电气特性检查之技术领域中，为人所知者有关于具备下列功能之导电性接触器单元之技术，亦即具有，对应于半导体积体电路的连接端子而配设多个导电性接触器，并使导电性接触器物理性接触于连接端子，由此确保电性导通之功能。该导电性接触器单元是具有：至少具备多个导电性接触器及用于保持导电性接触器之导电性接触器保持具之构造。于如此的导电性接触器单元中，为了随着作为检查对象之半导体积体电路等的精细化倾向而能够对应于连接端子的排列间隔之狭窄化，是提出一种将多个导电性接触器的排列间隔加以狭窄化之种种技术。

例如，关于实现排列间隔的狭窄化之导电性接触器，是提出一种藉由板状的导电性构件，使接触于检查对象等之接触部与弹压于该接触部之弹性部一体形成之构造。于此技术中，理论上可藉由将板状的导电性接触器排列于板厚方向，而将多个导电性接触器配置于狭窄的区域，并可由此实现对应于检查对象所具备之连接端子的排列间隔的狭窄化之导电性接触器(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2001—343397号公报

发明内容

(发明所欲解决之课题)

然而，导电性接触器是于基板检查时，施加有负载而收缩，但是于检查结束时，必须藉由弹性部的回复力而再次回归原点。于上述习知导电性接触器时，由于弹性部的宽度与导引沟的宽度大致相同，因此于该弹性部滑动时，会于导引沟与弹性部之间产生摩擦。若此摩擦过大，则可能产生弹性部卡合于导引沟而无法回归原点之情形。此时，若为了实现往原点的确实回归而增加施加于导电性接触器之负载，则导电性接触器前端的刚性无法抵挡弹力，而导致前端部的变形。

此外，由于弹性部一边产生弹性变形一边相对于导引沟滑动，因此该弹性变形时的动作并非每一次均维持一定，而定可能会产生偏差。结果，弹性部与导引沟之间产生的摩擦力亦产生偏差，因而导致检查负载值的偏差增大之问题。

再者，由于摩擦会产生摩擦粉末，因此所产生的摩擦粉末不、仅可能污染检查对象，亦可能导致导电性接触器本身之耐久性的降低。

本发明是监于上述课题而研创者，其目的在于提供一种，负载值的偏差较小且具有可确实回归原点之能力，并且耐久性佳之导电性接触器及使用该导电性接触器之导电性接触器单元。

(用于解决课题之手段)

为了解决上述课题并达成目的，本发明为一种导电性接触器，是将不同电路构造之间予以电连接，并且在与各个电路构造之间进行电气信号的输出入之板状的导电性接触器，其特征为具备：物理性接触于上述不同电路构造中任一电路构造之第1接触部；及物理性接触于与上述第1接触部所接触的电路构造不同之电路构造之第2接触部；及沿着长度方向而介于上述第1接触部及上述第2接触部之间，并可朝上述长度方向伸缩自如之弹性部；及连接上述弹性部与上述第1接触部之第1连接部；及连接上述弹性部与上述第2接触部，并形成有朝板厚方向贯穿之开口部之第2连接部；上述弹性部之至少一部分，其分别与上述长度方向及上述板厚方向直交之宽度方向的长度，是比上述第1连接部及上述第2连接部所分别具有之上述宽度方向的长度小。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，上述第2接触部是朝比上述第2连接部之宽度方向的缘端部更远离该导电性接触器的中心部之方向突出。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，上述弹性部之至少一部分，是朝着上述第2连接部之宽度方向的缘端中之与上述第2接触部所突出之一侧为相反侧的缘端部比上述第2连接部之宽度方向的缘端部更靠近该导电性接触器的中心部之方向后退。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，上述弹性部之至少一部分，是朝着上述第2连接部之宽度方向的缘端部中之与上述第2接触部所突出之一侧的缘端部比上述第2连接部之宽度方向的缘端部更靠近该导电性接触器的中心部之方向退后。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，上述弹性部是具有上述宽度方向的长度互为不同之部位。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，复具备沿着上述长度方向分割上述弹性部之至少1个平板部。

此外，本发明之导电性接触器是于上述发明中，上述斗板部之上述宽度方向的长度是与上述第1连接部之宽度方向的长度及/或上述第2连接部之宽度方向的长度相等。