[发明专利]感光性干膜抗蚀剂、使用了其的印刷配线板和印刷配线板的制造方法

权利要求书

1.一种至少包含第一感光层和第二感光层的多层结构的感光性干膜 抗蚀剂，其特征在于，

第一感光层含有A1粘合剂聚合物、B1(甲基)丙烯酸类化合物、C1 光反应引发剂和D1阻燃剂作为必要成分，

第二感光层含有A2粘合剂聚合物和B2(甲基)丙烯酸类化合物作为 必要成分，基本上不含有D2阻燃剂，

D2阻燃剂满足以下条件：

将D1阻燃剂的重量相对于第一感光层的总重量的比例记为第一感光 层的阻燃剂含有率，并将D2阻燃剂的重量相对于第二感光层的总重量的 比例记为第二感光层的阻燃剂含有率时，第二感光层的阻燃剂含有率为 0～10重量％，并且，

第二感光层的阻燃剂含有率/第一感光层的阻燃剂含有率为0～0.5，

D1阻燃剂和D2阻燃剂是氧化膦、膦、磷腈化合物、非卤素系缩合磷 酸酯或者它们中的2种以上的组合。

2.根据权利要求1所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征在于， 第二感光层还含有C2光反应引发剂作为必要成分。

3.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，D1阻燃剂和D2阻燃剂是非卤素系缩合磷酸酯。

4.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，所述第二感光层在多层结构中位于最外层。

5.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，所述A1粘合剂聚合物和/或A2粘合剂聚合物是含有羧基的乙烯基 系聚合物。

6.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，所述A1粘合剂聚合物和/或A2粘合剂聚合物是聚酰胺酸。

7.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，所述A1粘合剂聚合物和/或A2粘合剂聚合物是具有羧基和/或羟基 的可溶性聚酰亚胺。

8.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，所述A1粘合剂聚合物和/或A2粘合剂聚合物是使用了通式(1)所 示的聚硅氧烷二胺作为原料的一部分的具有羧基和/或羟基的可溶性聚酰 亚胺，

式中，R₁各自独立地表示碳原子数1～5的烃，R₂各自独立地表示选 自碳原子数1～5的烷基或苯基的有机基团，n表示1～20的整数。

9.根据权利要求1或2所述的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，其特征 在于，将第一感光层的厚度记为100时，第二感光层的厚度为500以下。

10.一种至少包含第一感光层和第二感光层的多层结构的感光性干膜 抗蚀剂，其特征在于，

第一感光层含有A1粘合剂聚合物、B1(甲基)丙烯酸类化合物、C1 光反应引发剂和D1阻燃剂作为必要成分，

第二感光层含有A2粘合剂聚合物和B2(甲基)丙烯酸类化合物作为 必要成分，基本上不含有D2阻燃剂，

D2阻燃剂满足以下条件：

将D1阻燃剂的重量相对于第一感光层的总重量的比例记为第一感光 层的阻燃剂含有率，并将D2阻燃剂的重量相对于第二感光层的总重量的 比例记为第二感光层的阻燃剂含有率时，第二感光层的阻燃剂含有率为 0～10重量％，并且，

第二感光层的阻燃剂含有率/第一感光层的阻燃剂含有率为0～0.5，

D1阻燃剂和D2阻燃剂是氧化膦、膦、磷腈化合物、非卤素系缩合磷 酸酯或者它们中的2种以上的组合，

其中，所述A1粘合剂聚合物和/或A2粘合剂聚合物是使用了通式(1) 所示的聚硅氧烷二胺作为原料的一部分的聚酰胺酸，

式中，R₁各自独立地表示碳原子数1～5的烃，R₂各自独立地表示选 自碳原子数1～5的烷基或苯基的有机基团，n表示1～20的整数。