[实用新型]晶圆置放架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种置物架，尤指一种除可防止晶圆在存放时产生 破裂及污损之外，也可同时达到易于取用及搬运功效的晶圆置放架。

背景技术

现有技术的晶圆在制成之后通常是放置在一个具有数个容置区的盒 体中，作为收藏存放，以利后续制程时利用机械手臂进行夹取使用。

但是由于该晶圆是较薄、质轻及易脆的物体，因此，当置于容置区 中时，并不适合以直接层叠的方式收藏存放，因此必须使用具有数个容 置区的大型盒体才能放置较多的晶圆，且当晶圆放置于容置区时，为防 止这些晶圆因搬运时产生碰撞，一般盒体的各容置区的周缘皆会设计有 数个凸出部，以作为各晶圆的定位使用，倘若各凸出部将晶圆定位的较 牢固时，该机械手臂则必须以较强的外力才能将晶圆取下，造成某些晶 圆的损伤，而由于该晶圆是属精密度较高的物体，因此就算轻微的破裂 及污损仍会导致其特性的极大影响，故，以目前收藏存放晶圆的盒体而 言，较无法符合实际使用的所需。

新型内容

因此，本实用新型的主要目的是在于，可将所需的晶圆集中置放于 承载单元中，除可防止晶圆于存放时产生破裂及污损之外，也可同时达 到易于取用及搬运的功效。

为达上述的目的，本实用新型是一种晶圆置放架，包含至少两个呈 相对应设置的侧板；数个两端分别设于各侧板相对应一面上且邻近各侧 板两侧及底缘的支撑杆；数个两端分别设于各侧板相对应一面上且邻近 各支撑杆相对应内侧缘的固定杆；以及数个分别相对应设于各固定杆内 侧缘的承载单元。

附图说明

图1是本实用新型的立体分解示意图。

图2是本实用新型的立体外观示意图。

图3是本实用新型的使用状态示意图。

其中：

1侧板      2支撑杆        21固定组件

3固定杆    31固定组件     4承载单元

41底板     411固定组件    42延伸板

43嵌槽     5晶圆

具体实施方式

图1、图2、图3，分别为本实用新型的立体分解示意图、本实用新 型的立体外观示意图及本实用新型的使用状态示意图。如图所示：本实 用新型是一种晶圆置放架，其由至少两个侧板1、数个支撑杆2、数个固 定杆3以及数个承载单元4所构成。

上述所提的侧板1呈相对应设置。

各支撑杆2两端分别设于上述两个侧板1相对应的一面上且邻近各 侧板1的两侧及底缘，而各支撑杆2的两端是分别配合固定组件21与侧 板1固接。

各固定杆3其两端分别设于上述两个侧板1相对应的一面上且邻近 各支撑杆2相对应的内侧缘，而各固定杆3的两端分别配合固定组件31 与侧板1固接。

各承载单元4分别相对应设于上述各固定杆3的内侧缘，其中各承 载单元4包含有配合固定组件411与固定杆3固接的底板41、数个垂直 设于底板41上的延伸板42、及数个由各延伸板42间所定义出的嵌槽43。 如是，利用上述的结构构成一全新的晶圆置放架。

当本实用新型在运用时，可以利用自动化的工具(如：机械手臂， 图未示)将晶圆5吸取，并由上往下(或由下往上)逐一放置于各承载 单元4相对应的嵌槽43中，藉以完成晶圆5的集中置放，以防止晶圆于 存放时产生破裂及污损；而使用时，可将本实用新型以直立的方式设置 于所需的制程设备(如：升降机构，图未示)上，并以侧板1作为设于 制程设备上的抵靠，且配合各支撑杆2及固定杆3增加结构强度，以利 本实用新型的晶圆置放架可承受制程设备作动或移动时的外力，并利用 该制程设备由下往上(或由上往下)移动该晶圆置放架，使自动化的工 具可逐一吸附该晶圆5进行取用，如此，即可使本实用新型达到易于取 用及搬运晶圆5的功效。

综上所述，本实用新型晶圆置放架可有效改善现有技术的种种缺点， 可将所需的晶圆集中置放于承载单元中，除可防止晶圆在存放时产生破 裂及污损之外，也可同时达到易于取用及搬运的功效，进而使本实用新 型的产生能更进步、更实用、更符合使用者的所须，确已符合创作专利 申请的要件，爰依法提出专利申请。