[实用新型]调针机

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种调针机，特别是关于一种影像式调针机。

背景技术

探针卡是晶圆在测试阶段一定会使用到的重要工具。在随着电子装置轻、薄、短、小与深次微米制成的趋势下，每一晶圆面积所容纳的晶粒数目越来越多，而结构复杂度也日益增高，相对的每一晶粒上的电极垫数目也随着每一晶粒的结构配置与精密度提高，而更具特殊性与复杂性。而在晶圆测试时，则是以探针卡上多个微细的探针，将测试信号传送至每一晶粒的多个电极垫上，再加以量测，以进行完整的电性测试，以确保晶粒的良率。

由于探针卡的多个探针是非常微细的，因此在刚制作完成时或者长时间与晶圆接触、使用不当、清洁的碰触，都会使得探针产生变形与耗损。因此，为了使每一个探针能够位于指定的位置上，以确实传送量测信号，必须利用一调针机，对探针进行调整。请参阅图1是目前的调针机架构示意图。利用现有调针机10进行调针时，先将一探针卡12吸附于固定单元14上，再将一表面上预先刻有模拟晶粒上每一电极垫位置图的透明玻璃基板16/或者晶圆固定于调针机10上，并利用一举臂单元18将透明玻璃基板16/或者晶圆相对于探针卡12移至非调针位置，操作人员通过显微镜19观察探针卡12上的探针与透明玻璃基板16/晶圆上所绘制电极垫位置的偏移量，随后再利用举臂单元18将透明玻璃基板16/晶圆与探针移至调针位置，操作人员再用一镊子伸入对探针中进行调整。如此反复移动透明玻璃基板16/或者晶圆与通过显微镜20观察以进行调针，以此解决调针在时间上的不确定性与操作上的困恼。

因此，本实用新型提供一种影像式调针机来解决现有技术中的缺失。

实用新型内容

本实用新型是提供一种调针机，以解决现有技术中的调针在时间上的不确定性与操作上的困恼等问题。

为有效解决上述的问题，本实用新型的提供一种调针机，主要目的在于提供一种影像式调针机，其可在显示器上直接观测探针卡的探针与模拟电极图案间的相对位置与探针接触端的大小，以进行探针位置的调针或者过滤不良品。

本实用新型的另一目的在于提供一种影像式调针机，其可增进调整探针过程的运作流畅性与简化整个过程。

为达以上的目的，本实用新型提供一种影像式调针机，其适用于调整一探针卡上的多个探针，调针机包括有一基座；一设置于基座上方的固定单元，其是用以吸附探针卡；一用以调整固定单元的移动的调整单元；一设置于固定单元上方的显微镜，以供放大观察多个探针；一电脑装置，以提供调整探针时的模拟电极图案与存档；以及一显示器，其是电性连接电脑装置与显微镜，以显示出模拟电极图案与显微镜所观测的探针影像间的相对位置关系。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型是提供一种调针机，可进行完整的电性测试，能确保晶粒的良率，简化整个调针过程的时间与步骤。达到大量节省调针过程的所需的时间，且使调针过程更为简便与顺手。

附图说明

图1是现有技术中调针机架构示意图；

图2是本实用新型的立体结构示意图；

图3是本实用新型的显示器上所显示出的虚拟电极图案与探针的接触端位置间的实施例示意图。

主要元件符号说明如下：

10调针机        12探针卡

14固定单元      16透明玻璃基板

18举臂单元      20显微镜

22调针机        24基座

26固定单元      28调整单元

30显微镜        32电脑装置

34显示器        36LCD环状光源

38接触端位置    40模拟电极图案

具体实施方式

本实用新型的精神所在是在现有的调针机结构增设一显示器，以将显微镜的成像呈现于显示器上，以利于观测。再者，显示器连接一电脑装置，以此在显示器上显示出由电脑装置所输入的预设模拟电极垫位置，而与显微镜所观察的影像一并显示于显示器，以作为探针调针基准。在这样的情况下，将不需要表面上预先刻绘有模拟晶粒上每一电极垫位置图的透明玻璃基板/或者晶圆。此外，本实用新型采用显示器观测与电脑预设模拟电极垫位置，可增加对位的准确性与可检验针头大小。