[实用新型]细胞电生理集成芯片

权利要求书

1、一种细胞电生理集成芯片，其特征在于：在Si基底(2.1.1)正面中间集成MEA微电极阵列(2.2)，在MEA微电极阵列(2.2)两侧分别集成IDA叉指电极(2.1)和LAPS光寻址电位传感器(2.3)，在MEA微电极阵列(2.2)另外两侧分别对称设置参考电极(2.4)。

2、根据权利要求1所述的一种细胞电生理集成芯片，其特征在于：所述的IDA叉指电极(2.1)为梳状的叉指电极对，单个叉指电极中间为暴露出的Au电极(2.1.5)以及下面Cr黏附层(2.1.4)，周围高出部分为SiO₂或Si₃N₄绝缘保护层(2.1.3)，下面依次分别为SiO₂层(2.1.2)和Si基底(2.1.1)。

3、根据权利要求1所述的一种细胞电生理集成芯片，其特征在于：所述的MEA微电极阵列(2.2)为6排正方形电极孔阵列，单个微电极结构与前所述IDA叉指电极(2.1)的单个叉指电极结构相同。

4、根据权利要求1所述的一种细胞电生理集成芯片，其特征在于：所述的LAPS光寻址电位传感器(2.3)结构分为4层，依次分别为Si₃N₄层(2.3.3)，SiO₂层(2.3.2)，Si基底(2.1.1)以及Al层(2.3.1)。