[实用新型]一种用于固晶机的晶圆推顶系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种推顶系统，尤其是指用于固晶机的晶圆推顶系统。

背景技术

固晶机是生产发光二极管过程中必不可少的设备，固晶的目的在于：利用粘接剂将晶圆(芯片)黏着于LED支架碗杯底面，使其固着于基座上，利于焊线及压模。

由于晶圆吸附在聚酯薄膜层上，因此，使用传统的装置取晶固晶，晶圆不易被分离并吸取，造成工作效率下降。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种晶圆推顶系统，将晶圆向上顶起，使晶圆与聚酯薄膜层脱离。

本实用新型的技术方案是：一种用于固晶机的晶圆推顶系统，其特征在于：包括推顶针、推顶轴、基座、动力装置，推顶轴固定安装在基座上，推顶轴中空并且底部设孔，推顶针底部插在推顶轴底部孔中，推顶针顶部部分露在空中，动力装置连接基座。

所述晶圆推顶系统进一步包括吸附膜片装置。

所述吸附膜片装置包括真空发生器、真空管；真空管一端连接推顶轴内部的中空部分，另一端连接真空发生器，所述真空发生器内设置阀。

所述晶圆推顶系统进一步包括推顶帽，所述推顶帽顶部设孔，推顶针101底部插在推顶帽顶部孔中，推顶帽底部与推顶轴顶部紧配合。

所述阀是电磁阀。

所述晶圆推顶系统进一步包括晶圆、晶圆偏移装置。

所述晶圆偏移装置包括横向导轨、横向导轨丝杆、横向导轨马达、纵向导轨、纵向导轨丝杆、纵向导轨马达、晶圆盘架、晶圆盘；纵向导轨固定在机器台面上，横向导轨与纵向导轨中的纵向导轨丝杆相配合，晶圆盘架连接晶圆盘臂，晶圆盘臂与横向导轨中的横向导轨丝杆相配合，晶圆盘架在晶圆盘架上。

所述动力装置是步进马达。

所述晶圆推顶系统的上升高度是晶圆厚度的一半。

所述晶圆推顶系统的上升高度是1毫米。

所述横向导轨的最大行程是100mm。

所述纵向导轨的最大行程是100mm。

所述真空发生器的压力为-630mmHg。

本实用新型的有益效果是：由于晶圆推顶系统能够将晶圆向上顶出，使晶圆与聚酯薄膜层脱离，使得晶圆容易被吸取，因此，大大提高了固晶机的工作效率和质量。

附图说明

图1是本实用新型晶圆推顶系统结构示意图；

图2是本实用新型晶圆及晶圆偏移装置结构示意图；

图3是本实用新型晶圆推顶系统工作过程示意图。

图中，101：推顶针；102：推顶轴；103：基座；104：推顶帽；105：步进马达；201：真空发生器；202：真空管；203：电磁阀；301：晶圆；302：横向导轨；303：横向导轨丝杆；304：横向导轨马达；305：纵向导轨；306：纵向导轨丝杆；307：纵向导轨马达；308：晶圆盘臂；309：晶圆盘架；310：晶圆盘；311：吸嘴；312：聚酯薄膜层。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

请参考图1，以进一步描述晶圆推顶系统的结构。晶圆推顶系统包括基座103、推顶帽104、推顶轴102、推顶针101、步进马达105、真空发生器201。晶圆推顶系统固定在机器台面上，并且位于晶圆盘310底部下方，推顶针101对准晶圆盘310。步进马达105和真空发生器201位于机器内部，步进马达105为晶圆推顶系统提供动力，真空发生器201通过连接真空管202连接在基座103上，并通过电磁阀203控制工作。推顶轴102位于基座103中心，高出基座103，推顶针101装在推顶轴102中，推顶帽104与推顶轴102螺纹连接，将推顶针101固定在推顶轴102中。推顶针101高出推顶轴102及推顶帽104，部分露于空中。

请参考图2，以进一步描述晶圆301及晶圆偏移装置的结构。纵向导轨305固定在机器台面上，横向导轨302与纵向导轨305中的纵向导轨丝杆306相配合，晶圆盘架309连接晶圆盘臂308，晶圆盘臂308与横向导轨302中的横向导轨丝杆303相配合。横向导轨马达307开启，横向导轨丝杆303旋转，带动晶圆盘架309横向移动；横向导轨丝杆303反向旋转，带动晶圆盘架309反向移动。纵向导轨马达307开启，纵向导轨丝杆306旋转，带动横向导轨302及晶圆盘架309纵向移动，纵向导轨丝杆306反向旋转，带动横向导轨302和晶圆盘架309纵向反向移动。晶圆盘310架在晶圆盘架309上。晶圆盘架309横向、纵向的正向最远移动距离是100毫米，晶圆盘架309横向、纵向的反向最远移动距离也是100毫米。