[实用新型]晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置

权利要求书

1.一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，其特征在于：包括晶圆转盘装置(15)、方向检测传感器(16)和方向检测系统(14)，晶圆转盘装置(15)上带有一个转盘，方向检测传感器(16)也安装在晶圆转盘装置(15)上，且位于转盘的边缘；方向检测系统(14)包括一个步进电机(3)和一个与步进电机(3)相联接的摄像头(9)，转盘位于摄像头(9)的下方。

2.如权利要求1所述的晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，其特征在于：所述的方向检测系统(14)包括一个底座(4)，底座(4)上安装有由两个支架杆(1)和一个支架杆连接板(2)构成的支架，支架的头部连接有安装板(11)，步进电机(3)及与之相连的滚珠丝杆传动(10)设置在安装板(11)上，滚珠丝杆传动(10)的滚珠体部分，即滚珠丝杆上的螺母，与滚珠体连接板(17)相连，摄像机(9)与摄像机安装板(8)、调整板(7)、直角连接板(6)、滚珠体连接板(17)及滚珠丝杆传动(10)依次相连。

3.如权利要求2所述的晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，其特征在于：所述的直角连接板(6)上设置有一个吊装板(5)，吊装板(5)被弯成一个直角，一端安装在直角连接板(6)上，另一端与机架顶端的托链(12)的一端相连。