[实用新型]一种清洗设备的滚刷清洗单元无效
申请号: | 200720148907.8 | 申请日: | 2007-04-25 |
公开(公告)号: | CN201020465Y | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 于凯 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04;B08B11/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 设备 单元 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶显示器(LCD)制造工艺中的设备,尤其涉及阵列基板制造工艺过程中,在绝缘层沉积前清洗工程中的清洗设备的滚刷清洗单元。
背景技术
近年来,随着数字化电视的普及,传统的CRT显示由于其数字化困难,以及体积大,重量大,有辐射等缺点,已经出现了被新一代显示技术替代的趋势,代表性的新显示技术有PDP,OLED,LCD等。其中,液晶显示器(LCD)由于具有重量轻,体积薄,无辐射,耗电量小,显示分辨率高等优点,已开始大量普及,开始成为主流产品。
液晶显示器(LCD)阵列基板制造工艺过程中,绝缘层是确保电配线层绝缘的膜层。在绝缘层沉积前一般要经过清洗工程,以确保沉积效果。
图1所示为现有技术中的清洗设备。如图1所示,清洗设备包括:玻璃加载单元11、紫外光清洗单元21、滚刷清洗单元31、干燥单元41和玻璃卸载单元51。清洗设备的整个清洗过程是:玻璃首先放置于玻璃加载单元11,在前进的过程中首先经过紫外光清洗单元21,在该单元有三根紫外光灯管,通过照射基板可以清除基板表面的有机物,随后基板进入滚刷清洗单元31,在该单元有滚刷、喷头和暗流清洗等功能,可以有效清除基板表面的小颗粒、中颗粒、大颗粒和特大颗粒,随后玻璃进入干燥单元41,在该单元可以吹干基板表面的水分,干燥过的基板最后进入玻璃卸载单元51,在该单元清洗后的基板被取走。
图2所示为现有技术中滚刷清洗单元上部滚刷和喷头喷淋方向的结构配置图。如图2所示,滚刷2设置在玻璃基板3的上方,多个喷头1设置在滚刷2的上方,并按照箭头所示的方向向滚刷2上喷洒清洗液,滚刷2旋转清洗玻璃基板3,并同时沿着箭头a所示的方向向前运动,玻璃基板3最后经过暗流清洗单元完成清洗。在清洗过程中,滚刷2与玻璃基板3上的膜层表面直接接触,虽然去除微尘(Particle)的效果显著,但是由于滚刷本身毛的分散性不均匀等缺点,同时也会在膜层表面留下划痕。图3所示是现有技术滚刷对玻璃表面不同压入量时,膜层表面划痕出现的程度测量图。如图3所示当毛刷不与膜层表面接触而进行清洗工程时(压入量为-1),膜层表面没有划痕出现;而当毛刷与膜层有接触时(压入量为0~0.5),膜层表面划痕发生的程度随着毛刷压入量的增加而变得严重,这说明上部毛刷与玻璃表面接触是导致划痕发生的根源,这样的划痕是一种对显示屏的视觉效果有重要影响的不良,它在屏点亮后,从正面可以直接观察到成排的车痕状条纹,严重影响了产品的良品率和价格。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种清洗设备,通过去掉清洗设备上部滚刷,同时改变滚刷上方喷头的喷淋方向,使喷头迎着玻璃基板前进的方向喷淋,在不影响清洗效果情况下,消除由于清洗引起的膜层表面划痕的目的。
为了实现上述目的,本实用新型提供一种清洗设备的滚刷清洗单元,包括:载物平台;下部滚刷,设置在载物平台下方;暗流清洗单元,设置在载物平台末端上方,其中多个喷头,直接设置在载物平台上方,所述喷头的喷洒方向与载物平台成0~90度角度。
上述方案中,所述喷头距载物平台的高度为20~50cm。所述喷头的喷洒方向与载物平台的运动方向相向。所述下部滚刷的转速为300~500rpm。所述下部滚刷的转动方向与载物平台的运动方向相同或相向。
相对于现有技术,本实用新型通过变更绝缘层沉积前清洗设备的滚刷清洗单元,即不使用上部滚刷和变更喷头的喷淋方向,实现了既不影响清洗效果,又消除了绝缘层表面划痕的目的。另外,由于不使用消耗性很高的上部滚刷,从而大大降低了生产成本。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步更为详细地说明。
附图说明
图1是现有技术中的清洗设备;
图2是现有技术中滚刷清洗单元滚刷和喷头喷淋方向的结构配置图;
图3是现有技术滚刷对玻璃表面不同压入量时,膜层表面划痕出现的程度测量数据图;
图4是本实用新型滚刷清洗单元喷头喷淋方向示意图;
图5是本技术适用前后,滚刷清洗单元对玻璃表面颗粒(Particle)去除率的比较图;
图6本技术适用前后,滚刷清洗单元对绝缘层沉积前后不良点(Defect)去除率的比较图。
图中标记:1、喷头;2、滚刷;3、玻璃基板;4、暗流清洗单元;11、玻璃加载单元;21、紫外光清洗单元;31、滚刷清洗单元;41、干燥单元;51、玻璃卸载单元。
具体实施方式
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