[实用新型]振动装置无效
| 申请号： | 200720142534.3 | 申请日： | 2007-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN201046997Y | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黄志荣;赵汝谦;高静宜 | 申请（专利权）人： | 亚洲电镀器材有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 中国香*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种振动装置，包括：
容纳液体和至少一个待处理基板的槽；
具有至少一个主表面的振动元件，所述振动元件至少部分地容纳于所述槽中；和
可操作地与所述振动元件连接的振动器；
其特征在于，所述振动器使所述振动元件在所述液体中沿基本上垂直于它的主表面的方向往复运动。
2.根据权利要求1所述的振动装置，其特征还在于，所述振动元件在所述液体中的往复运动使所述液体振动。
3.根据权利要求2所述的振动装置，其特征还在于，所述液体的振动使所述基板振动。
4.根据权利要求1所述的振动装置，其特征还在于，所述振动元件是刚性板元件。
5.根据权利要求1所述的振动装置，其特征还在于，所述振动器使所述元件以20Hz至50Hz的频率在所述液体中振动。
6.根据权利要求1所述的振动装置，其特征还在于，所述振动器通过至少一个片簧与所述振动元件相连接。
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