[实用新型]一种部件封装系统无效
| 申请号: | 200720120610.0 | 申请日: | 2007-06-06 |
| 公开(公告)号: | CN201060858Y | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
| 发明(设计)人: | 柏劲松 | 申请(专利权)人: | 深圳市萌亚光机电技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52 |
| 代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郭伟刚 |
| 地址: | 518000广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 部件 封装 系统 | ||
1.一种部件封装系统,用于将顶部设有顶部透镜(306)的封装壳体(300)封装在固定有部件(302)的底座(304)上,所述系统包括封装子系统(200),所述封装子系统(200)包括用于承载所述底座(304)的水平平移台(208),和用于夹持所述封装壳体(300)的夹具(212),其特征在于,所述系统还包括设置在所述封装子系统(200)上方、通过所发光束对所述顶部透镜(306)所在位置和所述部件(302)所在位置成像的光学成像子系统(100)。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述光学成像子系统(100)包括成像传感器组件(104)、显微镜组件(106)和结构光照明组件(108);所述显微镜组件(106)下端设有显微透镜组(110),上端与所述成像传感器组件(104)紧密相连,其内包括精密调节装置,用于在三维方向上调整所述显微镜组件(106)的位置。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述结构光照明组件(108)套接于所述显微镜组件(106)下端,其内部包括环绕设置的多颗发光二极管、环形光纤或环形灯管。
4.根据权利要求2或3所述的系统,其特征在于,所述结构光照明组件(108)包括设置在所述显微镜组件(106)内部的直角棱镜、透光孔和设置在所述显微镜组件(106)外部的外部光源。
5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述结构光照明组件(108)发出的光束为可见光或红外光,该可见光或红外光的波长由所述部件(302)所述顶部透镜(306)的材料及镀膜决定。
6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述光学成像子系统(100)还包括与所述成像传感器组件(104)相连的显示组件(102)。
7.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,所述封装子系统(200)包括围绕所述夹具(212)设置的上电极(202)、紧密设置在所述上电极(202)上部的加压组件(206)、设置在所述水平平移台(208)上用于固定所述底座(304)的基座(214)和围绕所述基座(214)设置的下电极(204)。
8.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,所述上电极(202)上对应所述封装壳体(300)顶部透镜(306)的位置设有导光孔(216),其内壁镀有高反射膜,其形状为圆柱型、圆锥型、抛物面型、双曲面型或椭球面型。
9.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,所述封装子系统(200)还包括与所述上电极(202)、下电极(204)相连的封装电源(210)。
10.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述部件(302)为下列之一:半导体激光二极管(LD)芯片、半导体发光二极管(LED)芯片、半导体超辐射二极管(SLED)芯片、半导体光放大器(SOA)芯片、半导体光探测芯片(PD)及其它光探测芯片、微机械(MEMS)芯片和微光机械(MOEMS)芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





