[实用新型]一种有盖的蒸镀用的石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英舟。

背景技术

目前，实验中普遍使用的石英舟没有封盖，在蒸镀过程中，药品由石英舟的开口蒸出从而完成镀膜过程，实验后保存时，石英舟开口处易被灰尘或杂质污染镀膜材料，通常的解决办法是使用铝箔封口，但这种方法操作麻烦，不易操作。

发明内容

为克服现有石英舟装备的这一缺陷和不足，本产品立足于保护和节省实验药品，又保证产品简便易行，便于操作，弥补实验药品过快蒸发，不易保存的技术难题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

在石英舟上加装一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。

封盖为水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。

外直径为12mm的石英舟，其盖上所开的两个或四个小孔的孔径为2mm，小孔之间距为8mm。

主要用来蒸发贵重材料，例如并五苯，这样可以更容易控制它的蒸发速度，只让材料从小孔出来，可以节约材料。实验后保存时，封盖也起到了隔离灰尘杂质的作用，材料基本上封在样品舟中不会与空气中的水、氧发生反应。

本实用新型的有益效果是：在现有石英舟基础上添加新的装置，保证了现有石英舟功能不受影响，又能起到节约药品便于保存的效果，且本产品与现有石英舟应用范围一致，保证了良好的兼容性。

附图说明

图1为现有石英舟主视图。

图2为现有石英舟俯视图。

图3为封盖主视图。

图4为封盖俯视图。

具体实施方式

以附图为实施方式对本实用新型作进一步说明：

在现有的石英舟上加装一个封盖，在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。封盖为水晶圆形封盖，封盖下侧有止口，止口与石英舟内延形成动配合。对于外直径为12mm的石英舟，其盖上所开的两个或四个小孔的孔径为2mm，小孔之间距为8mm。

实验前将药品置于石英舟底部，并加封盖。

对称开的两个或四个小孔，保证蒸镀过程中药品蒸汽的正常流通。

通过实验对比表明，影响蒸镀速度的首要因素为温度而非小孔直径，因此在此量级上的小孔直径对于蒸镀速度无显著影响，蒸镀过程中，药品蒸汽受封盖阻碍，只能从小孔处蒸出，比未加封盖时有效减缓蒸镀速率。