[实用新型]真空镀膜用自降温传动轴无效
| 申请号： | 200720103862.2 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201010691Y | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 张迎春;谢钧荣 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 降温 传动轴 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜用自降温传动轴，包括轴体，其特征在于：所述轴体其位于高温区域内的部分外侧设置有隔热装置。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述隔热装置为套于轴体上的隔热套或涂敷轴体上的隔热层。
3.如权利要求2所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述轴体至少具有一散热端或散热段位于非高温环境中。
4.如权利要求3所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述轴体两端分别设置有轴承以及相应的支撑。
5.如权利要求4所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述轴体为贯通设置于真空镀膜室中，其位于镀膜室内的轴体部分外侧设置有硬质滚筒，所述硬质滚筒两端分别通过所述隔热套或隔热层与轴体连接。
6.如权利要求5所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述滚筒上设置有传送工件的滚轮。
7.如权利要求6所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述硬质滚筒为不锈钢滚筒。
8.如权利要求3所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述轴体为具有良好热导性材料轴。
9.如权利要求8所述的一种真空镀膜用自降温传动轴，其特征在于：所述轴体为不锈钢轴。
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