[实用新型]可倒式补偿挡板机构

说明书

技术领域

本实用新型属于光学部件制造设备领域，特别涉及一种光学镀膜设备。

背景技术

光学镀膜设备包括作为被镀工件(光学片等)的载体的工件盘、工件盘下部设置的蒸发源等，工件盘上设有通孔，用于安装被镀工件，在光学镀膜设备中，由于蒸发源距离光学片上各部位远近不同，以及同一光学片通常会多次蒸不同的膜料，因此蒸发源蒸发的膜料不易均匀地蒸镀在被镀工件表面，目前往往采用补偿挡板遮挡过多的蒸发材料，避免镀膜的厚度不均匀。

现有的补偿挡板机构常采用的结构如图1所示，补偿挡板11固定在一杆状定位体12的一端，杆状定位体12的另一端加工有外螺纹，杆状定位体12设置有外螺纹一端与一下端固定于真空室底板上的杆连接，这一杆通过上端设置的内螺纹与杆状定位体12连接。补偿挡板11的位置变化可以通过杆状定位体12与杆之间的螺纹连接来调节。

现有的补偿挡板机构存在以下不足：除通过前述螺纹连接可以进行的微小位置调整外，补偿挡板一经安装，就会固定在一个位置，使补偿挡板不能方便地根据需要补偿的部位进行调整，使补偿效果差；在不需要使用补偿挡板的情况下，由于补偿挡板不能调整位置，只能保持原有的设置状态，此时补偿挡板对蒸发源造成不必要的阻挡，一方面导致蒸发材料(膜料)的浪费，另一方面补充挡板受到了污染，不利于重复使用；另外，补偿挡板与杆状定位体接触面积较小，即杆状定位体对补偿挡板的支撑面积小，补偿挡板受热后容易变形，这种变形使补偿效果变差，被镀工件的膜层不均匀，易变形的补偿挡板重复使用性差。

实用新型内容

针对现有补偿挡板机构存在的补偿挡板位置固定，进而导致了补偿效果差、补偿挡板易受污染和重复使用性差的问题，本实用新型提供了一种易于调节补偿挡板位置的可倒式补偿挡板机构。

本实用新型的技术方案如下：

可倒式补偿挡板机构，包括设置于真空室内的补偿挡板、定位体，补偿挡板直接或间接连接于定位体的一端，所述定位体的另一端为活动连接端，所述活动连接端直接或间接活动连接于真空室壁上。

上述活动连接端套接在可转动轴的一端，所述可转动轴的另一端与真空室壁外的调节装置相连。

上述调节装置为真空室壁外的旋转汽缸。

所述定位体为L型支架，L型支架的一端连接于所述补偿挡板，另一端直接或间接活动连接于真空室壁。

上述可转动轴的轴线与L型支架两支架边构成的平面垂直。

所述补偿挡板通过连接架固定连接于定位体的一端；所述补偿挡板部分或全部设置于连接架上，连接架的一端固定连接于定位体。

包围定位体活动连接端设置有一凹形槽，定位体另一端从所述凹形槽开口处伸出设置。

上述凹形槽在垂直于真空室壁方向凹陷，所述凹形槽在垂直地面方向的长度大于或等于活动连接端所在的支架边长度。

在L型支架设置有活动连接的支架边上设置有限位钉，所述限位钉轴线与所述支架边长轴垂直；所述限位钉长度为当活动连接端所在的支架边处于水平状态时，所述限位钉与所述凹形槽的一边接触。

本实用新型的技术效果如下：

本实用新型定位体的活动连接端直接或间接活动连接于真空室壁，使得定位体能依靠真空室壁进行较大范围的移动，从而使与其相连的补偿挡板也能够有很大的活动范围，活动连接端与真空室壁外的调节装置相连，可以根据镀膜的需要在真空室外调整定位体的位置，从而实现对补偿挡板的位置调整，使补偿效果得到提高。在不需要补偿时，可以将补偿挡板调整到蒸发材料不能蒸发到或较少蒸发到的位置，不但使补偿挡板避免受到污染，而且便于更换蒸发源材料，即不需要拆卸补偿挡板就可进行各种更换。将补偿挡板部分或全部设置于连接架上，加大了对补偿挡板的支撑面积，使得连接架对补偿挡板起到了支撑作用，补偿挡板在受热后不易变形，提高了补偿挡板的重复使用性。上述措施均有效提高了补偿效果，提高了镀膜的均匀性。

活动连接端套接在穿过真空室壁的可转动轴上，可以在真空室壁外控制定位体的转动，转动方式便于补偿挡板的位置调整。

定位体采用L形支架结构可以使定位体的活动连接端直接或间接设置在真空室侧壁上，避免由于定位体设置于真空室底板造成定位体占据较大真空室空间而影响蒸镀效果。

设置连接架连接补偿挡板与定位体便于使补偿挡板避免弯折等结构，由于补偿挡板需要经常更换，由此可以降低这一部分的加工成本。

采用凹形槽包围定位体活动连接端设置这一结构，使得定位体活动连接端避免受到蒸发源污染，有利于延长定位体活动连接端处密封、轴承等部件的使用寿命。