[实用新型]一种精密运动平台

权利要求书

1、一种气浮磁控精密运动平台，-包括动子平台，定子平台，动子推力线圈，定子永磁铁阵列，和位于动子平台顶部的两侧x-y向反射镜，其特征在于：所述动子平台底部边缘分布有气浮孔，动子平台底部中心分布有真空腔，动子推力线圈位于动子平台底部内侧，定子永磁铁阵列固定于定子平台，整个动子平台悬浮于定子平台上，动子推力线圈排列方式与定子永磁体阵列相匹配。

2、如权利要求1所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：所述的动子平台(1)为一个，所述的定子平台(6)也为一个，并与动子平台(1)相匹配。

3、如权利要求2所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：动子平台(1)底部边缘为圆形，底部内侧分布有三组等圆周分布的动子推力线圈(3)。

4、如权利要求3所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：与动子平台(1)相对应的定子平台(6)的定子永磁铁阵列(5)也呈等圆周分布。

5、如权利要求1所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：所述的动子平台(8)为多个，所述的定子平台(10)为相同结构定子单元(9)重复排列组成。

6、如权利要求5所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：所述动子平台的结构均相同，每个动子平台(13)的底部边缘呈方形，底部内侧分布有控制x方向运动两推力线圈(16)和控制y方向运动的两推力线圈(17)。

7、如权利要求6所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：所述控制x方向运动两推力线圈(16)和控制y方向运动的两推力线圈(17)相对底部中心交叉排列，呈“田”字。

8、如权利要求7所述的气浮磁控精密运动平台，其特征在于：定子平台(10)的每个定子单元(9)的永磁铁阵列的排布也呈“田”字。