[实用新型]垂向微调及重力补偿机构有效
| 申请号： | 200720076163.3 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN201097107Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王天明;袁志扬;蔡良斌;严天宏;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微调 重力 补偿 机构 | ||
1、一种垂向微调及重力补偿机构，其特征在于，包括：
重力补偿器，用于支撑物体的静态重量；
位于重力补偿器上的驱动装置，对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。
2、如权利要求1所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的重力补偿器上具有一支撑圆盘支撑驱动装置。
3、如权利要求2所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的重力补偿器还包括外壁，外壁内的推杆，与被支撑物体连接的推杆中间柔性铰链部分和顶部气浮挡头，位于推杆与外壁、顶部气浮挡头之间的气浮，以及推杆底部的恒压室。
4、如权利要求3所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的气浮消除推杆上下运动的摩擦力。
5、如权利要求3或4所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的气浮间隙为10-16μm。
6、如权利要求3所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的恒压室通过恒压补偿气口与供气气源的气路接通。
7、如权利要求6所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的供气气源的气路与气浮的进气口接通。
8、如权利要求6所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的供气气源与恒压补偿气口之间还包括调节阀、气体容器室、节流器顺序连接。
9、如权利要求8所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的调节阀为可自动控制和调节的阀体。
10、如权利要求1或2所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的驱动装置为音圈电机。
11、如权利要求10所述的垂向微调及重力补偿机构，其特征在于：所述的音圈电机由定子部分、动子部分、柔性支撑组成。
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