[实用新型]一种安全的小流量气体纯化装置有效
| 申请号： | 200720074400.2 | 申请日： | 2007-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN201101934Y | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘立平;蔡海淳 |
| 地址： | 200000上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 安全 流量 气体 纯化 装置 | ||
1.一种安全的小流量气体纯化装置，包括设置有一进气端(6)和一出气端(7)的容器，容器内装载有吸附剂，其特征是：
所述的容器为一长度/内径比大于25的金属管(1)；
所述金属管的两端，设置变径式接头(2)；
在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片(3)；
在两端多孔材料过滤片之间的金属管中，填充气体吸附剂；
其中，在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂(4)，在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂(5)；
在金属管的中间部分区域，设置有受温度控制电路(9)控制的加温部件(8)，该区域为加温区域。
2.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述多孔材料过滤片(3)的孔隙尺寸在0.003到20微米之间。
3.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述颗粒状气体吸附剂(4)的几何尺寸为1到10毫米。
4.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述粉末状气体吸附剂(5)的几何尺寸为0.1到0.5毫米。
5.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述金属管中填充颗粒状气体吸附剂部分和粉末状气体吸附剂部分的长度比例为1∶5～5∶1。
6.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述的金属管(1)为直管、U型弯管或螺旋状管。
7.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述金属管(1)内加温区域的长度和金属管总长度的比例为1∶2～1∶5。
8.按照权利要求1所述之安全的小流量气体纯化装置，其特征是所述金属管(1)的内壁为抛光面。
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