[实用新型]测试筐的定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测试筐的定位装置，特别涉及高低温冲击机中的测试筐的定位装置。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆经过曝光、蚀刻、切割、封装后形成芯片(IC)，但封装后形成的芯片的性能还需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏。在产品可靠性测试中，会涉及到很多环境测试用以检验芯片的封装质量，其中就包括高低温冲击试验测试(Thermal shock，T/S)，此测试用以检验芯片是否在可靠性测试液且极端变化的温度下(如-65℃～150℃或者-55℃～125℃)导致电性的短路或者断路。根据JEDEC国际测试标准，芯片样品先在高温槽内浸泡2分钟，然后到低温槽浸泡2分钟，如此循环最少100次，从而完成对芯片的高低温冲击试验测试。

如图1所示为一高低温冲击试验测试装置-高低温冲击机，它呈长立方体状，其前壁上具有玻璃罩2a和控制界面2b，其内部主要包括分别存放高、低温测试液的两个槽----高温槽3和低温槽4，且每一槽都具有两扇弹性门1a、1b、1c和1d；一个存放芯片样品的测试筐5；机械手臂6，用于连接测试筐5并将测试筐5在高、低温槽3、4中移动，机械手臂6上还有一个单边支架9(见图2)，该单边支架9呈U字状且其在垂直方向的长度大于测试筐5的长度，可与高温槽3、低温槽4上的弹性门碰撞后将弹性门1a、1b、1c、1d打开，且防止测试筐5与弹性门碰撞后产生变形；结合图2和图3具体描述高低温冲击机的工作原理。首先，打开玻璃罩2a，将装有芯片样品的测试筐5与机械手臂6固定，其中，将测试筐5上的T型头10插入成弯折的卡合结构7中，旋转螺丝8直到与T型头10紧密接触且固定连接，通过螺丝8与T型头10的固定连接使测试筐5与机械手臂6固定连接，通过控制界面2b的操作使机械手臂6带动测试筐5在高温槽3和低温槽4移动。在进行高低温冲击试验测试时，机械手臂6带动测试筐5在高温槽3、低温槽4中循环浸泡，芯片样品先在高温槽3内浸泡2分钟，然后到低温槽4浸泡2分钟，如此循环最少100次，从而完成对芯片的高低温冲击试验测试。当要更换芯片样品时，可旋松螺丝8将测试筐5与机械手臂6分离。但是一次高低温冲击测试的循环次数最低为100次，即机械手臂6上下左右来回次数至少要100次，这样机械手臂6与测试筐5连接的螺丝8就容易松动，而且现有的机械手臂6上只有一个单边支架9保护测试筐，这会导致与机械手臂6固定的测试筐5左右摇晃，最后被卡在槽口边，导致变形，机台提示出现故障，测试被迫终止。严重的时候，测试筐5破损或变形，难以复原，并且芯片样品掉入无论高、低温槽哪个槽中，机台需要6-8小时才能恢复到常温，方能进行捞取芯片样品的动作；而且在捞取芯片样品的时候，也会造成测试液的污染。当然还会产生一些其它问题：影响测试时间和测试进度，浪费资源，给操作带来不必要的麻烦。

为了保护测试筐及其中的待测产品，迫切需要一种能将机械手臂与测试筐牢固固定且能保护测试筐的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种测试筐的定位装置，通过该定位装置不仅能将测试筐与机械手臂牢固固定，而且可以保护测试筐不与外面的物体发生碰撞。

为了达到所述的目的，本实用新型提供一种测试筐的定位装置，包括与测试筐连接的T型头，将T型头进行卡合的卡合结构，该卡合结构与一螺丝螺纹连接，其中，卡合结构与螺丝之间设置一弹簧，该弹簧防止螺丝与卡合结构之间的松动。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的螺丝包括螺纹杆、螺纹杆外表面的外螺纹、螺丝头。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的螺丝头垂直连接一螺丝手柄。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的弹簧的直径大小位于位于外螺纹和内螺纹直径之间。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的测试筐设置于两个单边支架组成的空间中。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的单边支架相互对立平行。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的单边支架之间通过复数对金属条连接。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的两对金属条连接两个单边支架的侧边。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的一对金属条连接两个单边支架的底边。

在上述的测试筐的定位装置中，所述的单边支架为U形状。

本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：

1.测试筐与机械手臂牢固固定，不易发生松动；

2.保护测试筐不与外面的物体发生碰撞。

附图说明