[实用新型]一种改进型化学机械研磨液容器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种容器，具体的说，是一种存放化学机械研磨液的容器。

背景技术

在微电子领域，晶圆的研磨是一个不可缺少的生产环节。化学机械研磨液是晶圆研磨必须使用的研磨液。研磨液是一种混合液，由多种化学元素根据合理比例混合而成。研磨液装在化学机械研磨容器中。现有化学机械研磨液容器如附图1所示，它包括：容器本体13，设置于容器本体13下部并且和容器本体13相连的出液管道12，设置于容器本体13上部并且深入容器本体13内部的直插式入液管道11。使用时通过水泵15将研磨液14从出液管道12泵出，使用好以后研磨液14再通过入液管道11回到容器本体13中，重复使用。

当研磨液14在化学机械研磨容器本体13中存放或使用时间久时，由于研磨液14流动性差，研磨液14中的化学元素会从研磨液14中析出，在容器本体13的内壁上形成结晶颗粒，使研磨液14中的化学元素组成比例失调，并且结晶颗粒会使晶圆表面划伤，影响产品质量。这就要求容器13要经常用去离子水清洗，把容器本体13内壁上的结晶颗粒去处干净，整个放净旧研磨液14，清洗，配置新研磨液14的过程需要4.5小时，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，改变目前研磨液在容器本体内壁上易形成结晶颗粒，使研磨液中的化学元素组成比例失调，并且结晶颗粒会使晶圆表面划伤，影响产品质量的问题。

为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术手段：一种改进型化学机械研磨液容器，它包括：容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，其改进点在于：所述的在容器本体内部的这部分入液管道为环形结构，并且在这部分环形结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口。

在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道高于容器本体中液面。

在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道和容器本体横截面平行。

在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道为圆型。

在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道为方型。

在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道为不规则多边型。

本实用新型的改进型化学机械研磨液容器由于采用了上述技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极效果：将原先的直插式入液管道改进为在容器本体内部环形结构的入液管道与容器本体横截面平行的结构，在该环形结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口并且该环形结构入液管道高于容器本体中液面，当使用后的研磨液流回容器本体中时，通过朝向研磨池内壁的喷口喷向研磨池内壁，使内壁保持湿润，并且使紧贴内壁的研磨液保持较高的流动性，不易使研磨液在内壁形成结晶颗粒，保证了研磨质量，减少了清洗化学机械研磨容器的次数，提高了生产效率。

附图说明

本实用新型的改进型化学机械研磨液容器由以下的实施例及附图给出。

图1为现有化学机械研磨液容器结构示意图。

图2为本实用新型化学机械研磨液容器一种具体实施例结构示意图。

图3为本实用新型化学机械研磨液容器本体内部环形结构入液管道及喷口结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型化学机械研磨液容器作进一步的详细描述，具体为以下实施方式：

如图2所示，本实用新型化学机械研磨液容器包括：容器本体23，设置于容器本体23下部并且和容器本体23相连的出液管道22，设置于容器本体23上部并且在容器本体23内部一段为环状结构的入液管道21，在容器本体23内部一段为环状结构的入液管道21高于容器本体23中研磨液24的液面，该环状结构入液管道21和容器本体23的横截面平行，在该环形结构入液管道21上设置有若干朝向容器本体23内壁的喷口26，喷口26的数量设置以保证容器本体23的内壁四周都能得到喷口26喷出的研磨液24为标准。使用时通过水泵25将研磨液24从出液管道22泵出，当使用后的研磨液24流回容器本体23中时，通过朝向容器本体23内壁的喷口26喷向容器23内壁，使内壁保持湿润，且使紧贴内壁的研磨液保持较高的流动性，不易使研磨液在内壁形成结晶颗粒，从而减少清洗化学机械研磨池的次数，提高了生产效率，保证了研磨质量。