[实用新型]一种晶圆运输车

权利要求书

1.一种晶圆运输车，包括车身和两层搁架，其特征在于：上层搁架由两块搁板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块搁板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；车身上固定有两组滑轮，且每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下层搁架上，通过拉动拉绳的另一端可升起下层搁架。

2.如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述下层搁架的底部还设有活动金属柱，所述拉绳的一端连接至活动金属柱，通过拉动拉绳的另一端升起活动金属柱而托起下层搁架。

3.如权利要求2所述的晶圆运输车，其特征在于：所述搁板的底部与车身支架之间通过阻尼弹簧连接。

4.如权利要求2所述的晶圆运输车，其特征在于：所述搁板底部开有两道滑槽，滑槽内设有滑动件，且每个滑动件与相应的活动金属柱之间通过一滑轮绳相连。

5.如权利要求4所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的滑轮绳跨设在滑轮上。

6.如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的下层搁架与车身底座之间还设有缓冲装置。

7.如权利要求6所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的缓冲装置是阻尼弹簧。

8.如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述车身的两侧位于滑轮下方的位置设有一组卡榫，所述的卡榫通过铰接结构与车身相连。

9.如权利要求8所述的晶圆运输车，其特征在于：车身上还装有卡榫钮，以控制卡榫的收合。