[实用新型]一种柔性连接装置有效
| 申请号： | 200720071434.6 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201051210Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吕洋;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 连接 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性连接装置，用于工件台上横梁(103)与Y向直线电机的动子(101a和101b)的连接，其特征在于：所述的柔性连接装置包括主柔性块(102a)和副柔性块(102b)，横梁(103)的两端通过主柔性块(102a)和副柔性块(102b)分别与Y向直线电机的动子(101a和101b)连接。
2.如权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的主柔性块(102a)具有X向和Rz向的柔性。
3.如权利要求2所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的X向柔性是C型的薄片弹簧结构实现的。
4.如权利要求2所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的Rz向柔性是直线形的薄片弹簧结构实现的。
5.如权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的副柔性块(102b)具有Rz方向的柔性。
6.如权利要求5所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的Rz向柔性是直线形的薄片弹簧结构实现的。
7.如权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的主柔性块(102a)上装有缓冲器(104a)和接触开关(105a)。
8.如权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于：所述的副柔性块(102b)上装有缓冲器(104b)和接触开关(105b)。
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