[实用新型]可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统

权利要求书

1、一种可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统，该可调F-P干涉仪(10)的一玻璃平板安装在固定平台(9)上，另一块玻璃平板安装在相对该固定平台(9)微位移的微位移平台(8)上，其特征在于该在线监控系统包括：

一电容传感器，该电容传感器第一极板(1)安装在所述固定平台(9)上，与所述可调F-P干涉仪(10)的一玻璃平板的位置相对应，该电容传感器第二极板(2)可靠接地，且安装在由压电陶瓷驱动器(7)驱动的所述微位移平台(8)上，与所述可调F-P干涉仪(10)的另一玻璃平板的位置相对应，

所述电容传感器的第一极板(1)经传感器测量电路(3)、A/D转换器(4)与主控制器(5)的输入端相连，该主控制器(5)的输出端经D/A转换器(6)与所述的压电陶瓷驱动器(7)相连。