[实用新型]一种电阻丝加热器的电极连接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种提高大功率电阻丝加热器可靠性的电极连接装置，进一步是指特别用于金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备反应器中的电阻丝加热器电极连接装置。

背景技术

金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备是目前唯一能用于高质量半导体薄膜材料大批量生产的外延设备。采用金属有机物化学气相淀积工艺制备外延片时，温度通常在600℃～1200℃，要求加热器提供均匀、稳定的热场。加热器的质量是提高MOCVD设备产能的关键因素之一。

根据所生长的不同外延材料，其加热方法分为电阻丝加热、电阻块加热、高频加热等。电阻丝加热器电极的接触电阻增加将导致加热器的功率及分布发生变化，影响外延生长工艺；严重时会导致局部过热使电阻丝断裂，缩短加热器的寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术存在的缺陷，提出一种电阻丝加热器的电极连接装置，它采用螺纹压紧电阻丝末端的电极连接结构，使加热器工作在工艺高温时，保持电阻丝与电极套的可靠连接状态，减少高温过程中电阻丝氧化几率，降低接触电阻，延长加热器的使用寿命。

本实用新型的技术方案是，所述电阻丝加热器的电极连接装置的结构为，它有一电极杆，该电极杆的前端外周有用以容置电阻丝的螺旋槽且螺旋形电阻丝绕置于该螺旋槽中，所述电极杆的后端设有外螺纹且其端面开有内多角孔，内腔为锥孔的锁紧套筒套装在所述装有电阻丝的电极杆上且其锥孔口径较小端靠近所述电极杆的外螺纹端，在电极杆的外螺纹端于锁紧套筒相应端面依次装有内垫片、反射板、外垫片、弹性垫圈、螺母。

以下对本实用新型做出进一步说明。

参见图1和图2，本实用新型所述电极连接装置有一电极杆3，该电极杆3的前端外周有用以容置电阻丝1的螺旋槽2且螺旋形电阻丝1绕置于该螺旋槽2中，所述电极杆3的后端设有外螺纹8且其端面开有内多角孔9，内腔为锥孔的锁紧套筒4套装在所述装有电阻丝1的电极杆3上且其锥孔口径较小端靠近所述电极杆3的外螺纹端，在电极杆3的外螺纹端于锁紧套筒4相应端面依次装有内垫片5、反射板6、外垫片7、弹性垫圈10、螺母11。

所述内多角孔9可以是内六角孔，或内三、四、五角孔等。

本实用新型目的是使电阻丝与电极之间的连接更加紧密可靠，接触电阻小，安装与拆卸方便；其设计原理是，为满足电阻丝与电极杆的可靠连接，电极杆设计成全螺纹的形式，与螺旋弹簧状的电阻丝构成螺纹连接；电极杆外部设计有内锥锁紧套筒，内部圆锥保证电阻丝沿着电极杆下行能更加紧密缠绕电极杆，同时拉紧套筒固定于反射板上，在反射板与套筒之间设计有垫片将两者隔离；电极杆端部设计有内多角(内六角)，便于转动电极杆，带动电阻丝下行，拉紧锁紧套筒，紧固三者之间的配合。

由以上可知，本实用新型为一种电阻丝加热器的电极连接装置，它采用螺纹压紧电阻丝末端的电极连接结构，使加热器工作在高温时，保持电阻丝与电极套的可靠连接状态，减少高温过程中电阻丝氧化几率，降低接触电阻，延长加热器的使用寿命。该电极连接装置特别适用于金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备反应器中的加热器。

附图说明：

图1是本实用新型的一种实施例的电极杆的剖视结构示意图；

图2是本实用新型装置的一种实施例剖视结构示意图。

在附图中：

1-电阻丝，    2-螺纹槽，

3-电极杆，    4-锁紧套筒，

5-内垫片，    6-反射板，

7-外垫片，    8-外螺纹，

9-内多角孔，    10-弹性垫圈，

11-螺母。

具体实施方式

如图1、图2，所述电极连接装置有一电极杆3，该电极杆3的前端外周有用以容置电阻丝1的螺旋槽2且螺旋形电阻丝1绕置于该螺旋槽2中，所述电极杆3的后端设有外螺纹8且其端面开有内多角孔9，内腔为锥孔的锁紧套筒4套装在所述装有电阻丝1的电极杆3上且其锥孔口径较小端靠近所述电极杆3的外螺纹端，在电极杆3的外螺纹端于锁紧套筒4相应端面依次装有内垫片5、反射板6、外垫片7、弹性垫圈10、螺母11。

如图2所示，电阻丝1绕成弹簧状后与电极杆3相连，两者的连接必须可靠，因此电极杆3前部设计成全螺旋槽结构，螺旋槽2与电阻丝1的螺旋相匹配，外螺纹8与紧固螺母11相匹配；电极杆3与电阻丝1的外部是带内锥的锁紧套筒4，由电极杆3端部的内多角孔9转动该电极杆3，将带动电阻丝1下行，在锁紧套筒4内圆锥的挤压下，电阻热丝1与电极杆3的连接更加紧密与可靠，同时拉紧锁紧套筒4固定于反射板6之上；在反射板6与锁紧套筒4之间安装了垫片，防止加热器长期高温工作后，两部件烧结在一起难以分离；电极杆3通过紧固螺母11与自身的外螺纹8固定在反射板6上，两者之间也安装了垫片与弹性垫圈10，作用是防松及防止高温后粘结；反射板6是所有电阻丝电极连接装置的固定板和导电板。