[实用新型]双温场化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种双温场化学气相沉积装置，其特征是：反应器是由进气机构、反应加热炉、基体加热炉和基体储存箱共同构成密闭空间，进气机构安装在反应加热炉的外壳上，在反应加热炉的外壁与水冷装置相接触，基体通过反应加热炉与基体加热炉之间的空隙。

2.根据权利要求1所述的一种双温场化学气相沉积装置，其特征是：反应加热炉内的加热装置是电阻式加热器，安装在反应加热炉的内壁附近。

3.根据权利要求1所述的一种双温场化学气相沉积装置，其特征是：反应加热炉的一端是密闭的进气机构，另一端是开口的对应生长基体。

4.根据权利要求1所述的一种双温场化学气相沉积装置，其特征是：基体加热炉的加热装置是电阻式加热器或电感式加热器，安装在与基体较近的部位。

5.根据权利要求1所述的一种双温场化学气相沉积装置，其特征是：基体通过反应加热炉与基体加热炉之间的空隙，基体两端通过张紧轮安装在基体储存箱内的卷筒上。