[实用新型]多层梁结构的电容式微机械温度传感器无效
| 申请号： | 200720038336.2 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN201069398Y | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;陆婷婷;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 结构 电容 式微 机械 温度传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种多层梁结构的电容式微机械温度传感器，其特征在于该传感器由上电容极板(1)和下电容极板(2)及连接电容极板的第一引线(3)和第二引线(4)组成，上电容极板(1)和下电容极板(2)为导电膜，在该两导电膜之间由绝缘介质膜(5)填充，第一引线(3)和第二引线(4)分别对应与上电容极板(1)和下电容极板(2)相接，下电容极板(2)设在衬底(6)上，在下电容极板(2)下设有空腔。
2.根据权利要求1所述的多层梁结构的电容式微机械温度传感器，其特征在于上电容极板(1)的导电膜为金属膜，下电容极板(2)的导电膜为P+层，绝缘介质膜(5)为二氧化硅。
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