[实用新型]真空镀膜箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置。具体说是用于镀制光学薄膜的镀膜机上的真空箱。

背景技术

在精密光学生产领域都知道，光学薄膜的镀制是通过热蒸发技术而实现的。采用热蒸发技术镀制薄膜的关键技术在于薄膜厚度的控制。而传统镀膜机的真空箱包括一个箱体，该箱体为圆柱形，其顶板的下表面中心和底板上分别有探头和蒸发器，顶板与底板之间有用于放置被镀零件的支撑板。支撑板的边沿与箱体内壁间留有间距，其上有中心孔，该中心孔与探头对应且中心孔的直径大于探头。支撑板上还均布有通孔。采用这种结构，膜层的厚度控制只能是通过改变蒸发速率来实现。由于薄膜的性能好坏与镀膜过程中的蒸发速率密切相关，改变蒸发速率、尤其是降低蒸发速率会大大降低所镀薄膜的性能。因此，采用这种真空箱镀制的光学薄膜性能较差。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种真空镀膜箱。采用这种真空箱镀制光学薄膜，性能较好。

为解决上述问题，采取以下方案：

本实用新型的真空镀膜箱包括箱体，该箱体为圆柱形，其顶板的下表面中心和底板上分别有探头和蒸发器，顶板与底板之间有用于放置被镀零件的支撑板。支撑板的边沿与箱体内壁间留有间距，其上有中心孔，该中心孔与探头对应且中心孔的直径大于探头。支撑板上还均布有通孔。其特点是底板上有支架，支架上有可沿其上下移动的挡板，挡板上有中心孔，其上还均布有通孔。

所说支架含有至少两根立杆，立杆下端固定在底板上。挡板的边沿上有滑块，该滑块与立杆一一相对应，其上有通孔，立杆的上端一一对应地插入通孔内，且二者间呈滑动配合。

采用上述方案，具有以下优点：

由于本实用新型在其底板上设置有支架，支架上安装有挡板，且挡板可沿支架上下移动。挡板上有中心孔，其上还均布有通孔。通过调节挡板的高度，就可实现所镀薄膜厚度的控制，不必改变蒸发速率，镀制的光学薄膜性能较好。

附图说明

附图是本实用新型的真空镀膜箱结构示意图。

具体实施方式

如附图所示，本实用新型的真空镀膜箱真空镀膜箱含有一个箱体9，该箱体为圆柱形，其顶板的下表面中心安装头探头2，其底板的圆心两侧对称位置上安装有两个蒸发器8。顶板与底板之间设置有用于放置被镀零件1的支撑板4，该支撑板通过拉杆悬置于顶板的下方。支撑板4的四周边沿与箱体9内壁间留有间距，其上加工有中心孔3，该中心孔与探头2对应且中心孔3的直径大于探头2。支撑板4上还加工有若干通孔，这些通孔呈均匀布置。在箱体9的底板上设置有支架7，该支架含有三根立杆，该三根立杆沿底板的圆周方向均布，它们的下端固定在底板上。支架7上安装有挡板5，挡板5的边沿上固定有三块滑块6，该三块滑块与支架7的立杆一一相对应，其上加工有通孔，立杆的上端一一对应地插入通孔内，且二者间呈滑动配合。滑块6上还加工有小螺孔，该小螺孔与其上的通孔连通并安装有调节螺钉，通过旋拧调节螺钉，可实现滑块6与立杆间的固定或松开，从而实现挡板5的高度调整。