[实用新型]取送、对中功能一体化机器人装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的移送机构，具体为一种取送、对中功能一体化机器人装置。

背景技术

目前的机器人手指取过晶片后要放到单独的对中单元上完成对中功能。如图1所示，原机器人设有机器人固定平台3和安装于机器人固定平台3上的手指1，原机器人只能起到取送晶片的作用，其工作过程是手指先从片盒取到晶片，送到对中单元，经过对中单元执行对中动作后，再送往其他单元。其不足之处在于：机器人功能较为单一，操作工序较多。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种取送、对中功能一体化机器人装置，解决机器人功能较为单一、操作工序较多等问题。

本实用新型的技术方案是：

一种取送、对中功能一体化机器人装置，机器人上设置对中机构。

所述对中机构可以包括移动对中部分和气缸，通过气缸驱动的移动对中部分对称设置于气缸的两侧，两个移动对中部分的相对侧面为与晶片形状匹配的半圆形结构。

所述两个移动对中部分相对的侧面安装有柱体。

所述气缸两侧安装有减振挡块。

本实用新型的优点及有益效果是：

1、本实用新型对原工作过程进行了更改，在机器人上增加了对中机构，将对中功能在机器人上实现，原对中单元的承片台可取消，减少了环节和机械部件，节约了时间。

2、本实用新型可同时适用于I型和Y型手指。

附图说明

图1现有技术中机器人装置示意图。

图2本实用新型机器人装置示意图。

图中，1手指；2晶片；3机器人固定平台；4对中机构；41移动对中部分；42气缸；43柱体；44气缸滑柱；45减振挡块。

具体实施方式

如图2所示，在机器人固定平台3上增加了对中机构4，从而将对中功能在机器人上实现。本实施例中，对中机构4包括移动对中部分41和气缸42，移动对中部分41对称设置于气缸42的两侧，通过气缸滑柱44驱动；两个移动对中部分41的相对侧面为与晶片形状匹配的半圆形结构，该移动对中部分41的侧面安装有柱体43，用于通过与晶片2接触来调整晶片对中位置，柱体43为聚丙烯(PP)材料，气缸42两侧安装有减振挡块45。

本实用新型的工作原理为：

先从晶片盒中利用真空吸附取出晶片2，然后将取晶片的手指1移至机器人固定平台3上面的对中机构4的气缸42位置上方；关闭真空，气缸滑柱44动作，对中机构4在气缸滑柱44带动下动作，向晶片位置移动，通过调整气缸42两侧的减振挡块45，来控制移动对中部分41的移动距离；当两个移动对中部分41侧面的柱体43与晶片2接触时，可调整晶片2位置，实现晶片的对中功能。对中动作完成后，再打开真空，晶片2吸附于手指1上，手指1升起后，可将晶片移至其他单元。