[实用新型]在线实时湿加工化学污染物监测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种监测装置，特别涉及一种在线实时湿加工化学污染物监测装置。

背景技术

现今的电子业，在半导体制造过程中，有许多加工必须要使用化学液体溶剂做湿性加工，如晶圆、电路板等的水洗加工，即是利用酸性、或碱性液体对其冲洗加工，水洗后的液体经由过滤装置的过滤再重复循环使用，此不但可节省水洗成本，更可避免环境污染，唯随着时间的增长，水洗液的浓度及混浊度会逐渐提高，而业者以往都凭着经验或是现场观察来判断是否淘汰或继续再循环使用，由于循环液体的化学污染物累积并非以肉眼或凭经验就能精确判断，所以会直接影响产品的良率。

化学液体是以流动方式在制程在线做循环，所夹带的化学污染物分布只能以一平均值的方式来表达，并不能以一明确的方式准确的分辨其分布状态，因此只能依现场作业人员的判断或是工程师的经验决定；其次，又因化学污染物分布的不确定性，遂有可能发生重要的制程中使用到较严重污染的循环液，而导致不良率提升，或是误判循环液污染程度而过早排放，造成浪费，提高成本等问题出现。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能在制程在线将液体中的化学污染物含量监测出来的一种在线实时湿加工化学污染物监测装置。

本实用新型是采用以下技术手段实现的：

一种在线实时湿加工化学污染物监测装置(1)，其设置于监测器(8)内，其特征在于包括：一发出入射光束(31)的发光部(2)；一设置于发光部(2)之入射光束(31)路径上并反射后形成反射光束(32)的反射部(4)；一内有流体(6)流动且设置于前述反射光束之路径上被反射光束照射的透明管(5)，前述反射光束(32)在透明管(5)上造成交汇处(62)；及一设置于前述交汇处(62)侧端且用于收集交汇处(62)所散射出散射光束(33)的监测部(7)。

根据上述的在线实时湿加工化学污染物监测装置(1)，其中，发光部(2)是由激光二极管(21)与平行光管(22)所组成。

根据上述在线实时湿加工化学污染物监测装置(1)，反射部(4)是离轴椭球镜(41)。

根据上述在线实时湿加工化学污染物监测装置(1)，监测部(7)是由集光器(71)与受光的光电二极管(72)所组成。

根据上述在线实时湿加工化学污染物监测装置(1)，其中，激光二极管(21)波长范围为390~1550奈米，前述激光二极管(21)放射出不特定色光。

本实用新型与现有技术相比，具有以下明显的优势和有益效果：

本实用新型装置为非破坏性及非接触性的监测装置(1)，在制程在线设置内含本发明装置的监测器(8)时，并不会影响与干扰到其制程生产的完整与程序。

利用激光光线的高相干性，能在不破坏及接触管路的状况下使其发生干涉现象，有效的得知在流动情况下的液体(6)内之化学污染物(61)含量。

因为液体(6)是在流动的状况下，以一定的流速、流量，在不同时间点流经透明管(5)，故可得知储液槽(52)内之液体(6)的化学污染的分布与区段。

经由监测装置(1)的监测，其监测器(8)分析输出数据后，便能以化学污染物(61)较少的区段，做为往后较重要的制程加工处理区段，而以化学污染物(61)较多的区段，做为较不重要的制程加工处理区段，遂本新型在监测后提供数据以供业者后续参考以利在液体加工作业时能有效分别利用，让液体(6)达到做最大化使用效益，进以降低生产成本及减少环境污染。

附图说明

图1：本实用新型的概要示意图；

图2：本实用新型与监测装置、储液槽组合示意图；

图3：本实用新型监测流体污染物后的时间/电压比较图；

图4：本实用新型的作用过程方块图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施例加以说明：

如图1、图2、图3所示，图1为本实用新型的概要示意图、图2为本实用新型与监测装置、储液槽组合示意图、图3为本实用新型监测流体污物后的时间/电压比较图。