[实用新型]精密线性位移装置

权利要求书

1、一种精密线性位移装置，其特征在于，包括：壳体、运动载座、电磁驱动单元、永磁单元和弹性支撑座，永磁单元设置在壳体内，运动载座通过弹性支撑座安装在所述壳体内，电磁驱动单元固定在运动载座上。

2、根据权利要求1所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述电磁驱动单元为环形线匝，所述运动载座为一侧端带有凸缘的圆筒，环形线匝同轴套装在圆筒上，并与所述凸缘相固定，所述环形线匝与所述圆筒之间具有适当间隙。

3、根据权利要求2所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述凸缘与所述环形线匝相接触的面上设置有凹槽，该凹槽的宽度小于所述环形线匝的壁厚，通过在所述环形线匝与凸缘的接触面上及凹槽内施胶使环形线匝固定在凸缘上。

4、根据权利要求2或3所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述永磁单元包括磁瓦和铁磁性材料制成的环槽形外壳，环槽形外壳包括外环和内环，磁瓦的外圆周面的半径与外环的内表面半径相同，并周向设置在外环内表面上，所述磁瓦的磁力线方向为径向，所述环形线匝套装在磁瓦与内环之间，所述内环位于所述环形线匝与所述圆筒之间的间隙内。

5、根据权利要求4所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述弹性支撑座包括前、后板簧，所述板簧包括具有同心结构的内环缘和外环缘，内环缘和外环缘之间通过簧丝相连，所述后板簧的内环缘通过凹凸卡位与所述凸缘相固定，所述前板簧的内环缘也通过凹凸卡位与所述圆筒的和凸缘相对的另一端面相固定。

6、根据权利要求5所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述前板簧的内环缘上还开设有散热孔。

7、根据权利要求1所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，所述壳体包括前盖板和后盖板，前盖板和后盖板之间通过倒扣自锁装置相卡合固定。

8、根据权利要求6所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，还包括一环状定位片，该定位片压靠在所述后板簧的外环缘和环槽形外壳的外环之间。

9、根据权利要求8所述的一种精密线性位移装置，其特征在于，还包括一绝缘片，该绝缘片设置在所述前板簧的外环缘和壳体之间。