[实用新型]用于电镀机的板布置

权利要求书

1.一种用于电镀机的板布置，其特征在于，所述布置包括至少两个板，每个板在其各自的第一主要表面上包括用于与至少一个管元件可释放地连接的部件，和通过每个各自的所述板的至少一个穿孔，所述穿孔适于与所述管元件的出口形成流体可连通关系。

2.根据权利要求1所述的板布置，其特征在于，所述板基本上彼此平行。

3.根据权利要求1所述的板布置，其特征在于，所述两个板的所述各自的第一主要表面彼此背离。

4.根据权利要求1所述的板布置，其特征在于，所述至少一个穿孔均包括适于与所述管元件的所述出口形成流体可连通关系的入口，和用于引导所述流体远离所述各自的板的第二主要表面的至少一个出口。

5.根据权利要求4所述的板布置，其特征在于，所述板的所述第二主要表面彼此面对。

6.根据权利要求5所述的板布置，其特征在于，所述板的所述第二主要表面限定允许待处理的衬底通过的通道。

7.根据权利要求1所述的板布置，其特征在于，进一步包括两个导板，每个导板处于或靠近所述板中的一个的入口端，其中每个所述导板相对于各自的板倾斜。

8.根据权利要求7所述的板布置，其特征在于，所述导板相对于彼此倾斜。

9.根据权利要求7所述的板布置，其特征在于，所述导板限定通向由所述板的所述第二主要表面所限定的通道的连续变窄路径。

10.根据权利要求1所述的板布置，其特征在于，所述板由非导电热塑材料制成。

11.根据权利要求10所述的板布置，其特征在于，所述板由聚丙烯制成。