[发明专利]脉冲调制电源及具有该电源的电化学抛光装置

权利要求书

1.一种脉冲调制电源，该脉冲调制电源包括控制器(1)和脉冲执行电 路(2)；其中，所述控制器(1)用于控制脉冲执行电路(2)改变输出的脉 冲电流的方向，并控制输入所述脉冲执行电路(2)电流输入端电流的大小； 所述脉冲执行电路(2)用于在控制器(1)的控制下输出改变方向的脉冲电 流，

所述脉冲调制电源还包括稳压电源(3)、调压模块(4)以及二极管(D)， 稳压电源(3)用于为调压模块(4)提供电源输出；调压模块(4)用于调 节所述稳压电源(3)输出的电流的大小，并将调节后的电流输出到脉冲执 行电路(2)的电流输入端；所述二极管(D)串联在所述调压模块(4)和 脉冲执行电路(2)的电流输入端之间；所述控制器(1)还用于控制调压模 块(4)输出的电流的大小。

2.根据权利要求1所述的脉冲调制电源，其中，所述脉冲执行电路(2) 包括多个可控开关，多个可控开关分为两组，每组中的可控开关串联，一组 串联的可控开关的一端与另一组串联的可控开关的一端电连接，作为电流的 输入端，两组串联的可控开关的另一端共同接地，控制器(1)分别与每个 可控开关的控制端连接，用于控制可控开关的通断，属于同一组串联的可控 开关中一对相邻可控开关的接点与属于另一组串联的可控开关中一对相邻 可控开关的接点作为脉冲执行电路(2)一组电流输出端。

3.根据权利要求1或2所述的脉冲调制电源，其中，所述脉冲执行电 路(2)为多个。

4.根据权利要求2所述的脉冲调制电源，其中，所述控制器(1)通过 控制可控开关通断的时间和顺序来改变输出的脉冲电流的方向。

5.根据权利要求2所述的脉冲调制电源，其中，所述可控开关为4个， 每一组串联的可控开关的个数为2个。

6.根据权利要求1或2所述的脉冲调制电源，其中，所述脉冲调制电 源还包括控制面板(5)和存储器(6)；

控制面板(5)用于对所述控制器(1)设定脉冲调制参数，并将设定的 脉冲调制参数输入到控制器(1)，以及对控制器(1)发出工作指令；

所述存储器(6)用于存储控制器(1)应用程序和预先设定的脉冲调制 参数，供控制器(1)调用程序和脉冲调制参数。

7.一种电化学抛光装置，该装置包括电极(73)、电解液槽(71)和脉 冲电源；所述电极(73)插入电解液槽(71)中，脉冲电源用于与电极(73) 和被电抛光的工件(74)连接，其特征在于，所述脉冲电源为如权利要求1 -6中任一项权利要求所述的脉冲调制电源。

8.根据权利要求7所述的抛光装置，其中，该装置还包括电解液(72)， 电解液(72)位于电解液槽(71)中，所述电极(73)和被电抛光的工件(74) 插入电解液槽(71)中。

9.根据权利要求7所述的抛光装置，其中，所述脉冲调制电源的脉冲 执行电路(2)包括至少一个H桥电路单元，所述H桥电路单元包括四个可 控开关，第一个和第二个可控开关的一端相连接作为脉冲执行电路(2)的 电流输入端，第一个和第二个可控开关的另一端分别接第三和第四个可控开 关的一端，第三和第四个可控开关的另一端接地，所述第一和第三个可控开 关的接点、第二和第四个可控开关的接点分别被引出作为脉冲执行电路(2) 的一组电流输出端。

10.根据权利要求7所述的抛光装置，其中，所述脉冲调制电源的调压 模块(4)包括多个电流输出端，分别输出不同大小的电流，每一个电流输 出端与脉冲执行电路(2)的电流输入端之间连有可控开关，所述控制器(1) 通过控制可控开关的通断来控制调压模块(4)输出的电流的大小。