[发明专利]图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，该图案形成方法包括：

将涂覆有图案形成材料的基板装载到腔室中；

在所述腔室内，与所述基板相对地设置软模，所述软模的表面设置有凸和凹图案；

通过蒸发所述图案形成材料的一些组成部分并将从所述图案形成材料中蒸发的组成部分吸附到所述软模的表面上，来形成吸附层；

通过将包括所述吸附层的所述软模与剩余的图案形成材料相接触，来形成具有与所述软模的表面中所包括的所述凸和凹图案相反形状的图案层；以及

将所述软模与所述图案层分离。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，该图案形成方法还包括：在形成所述吸附层之后，对所述吸附层进行时效处理。

3.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，在所述软模的表面上以均匀的厚度形成所述吸附层。

4.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，所述吸附层与涂覆在所述基板上的图案形成材料的总量的大约5％～20％相对应。

5.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，通过将所述腔室内部的空气排放到外部来减压，以形成所述吸附层。

6.根据权利要求5所述的图案形成方法，其中，所述腔室包括减压装置。

7.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，通过对所述腔室内的所述基板进行加热来形成所述吸附层。

8.根据权利要求7所述的图案形成方法，其中，在所述腔室的其上安装有所述基板的预定部分中设置加热板。

9.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，在所述软模的表面和所述基板上的图案形成材料的表面之间保持预定间隔的状态下，形成所述吸附层。

10.根据权利要求9所述的图案形成方法，其中，将所述基板上的所述图案形成材料设置在距离所述软模1mm至3cm的间隔处。

11.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，当通过将包括所述吸附层的所述软模与剩余图案形成材料相接触，来形成具有与所述软模的表面中的凸和凹图案相反形状的图案层时，对所述图案层进行光固化。

12.根据权利要求11所述的图案形成方法，其中，通过光固化形成的所述图案层包括所述软模的表面上的吸附层以及所述基板上的所述剩余图案形成材料。

13.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，所述图案形成材料和所述软模中的一个具有亲水界面特性，而另一个具有疏水特性。

14.根据权利要求13所述的图案形成方法，其中，所述图案形成材料包括可光固化特性的亲水液态预聚物、光引发剂和表面活性剂。

15.根据权利要求14所述的图案形成方法，其中，所述软模由PDMS(聚二甲基硅氧烷)或聚亚安酯形成。

16.根据权利要求14所述的图案形成方法，其中，所述可光固化特性的亲水液态预聚物包括HEA(丙烯酸-2-羟基乙酯)、EGDMA(二甲基丙烯酸乙二醇酯)、EGPEA(丙烯酸乙二醇苯基醚酯)、HPA(丙烯酸羟基丙酯)和HPPA(丙烯酸羟基苯氧基丙酯)中的至少任意一种。