[发明专利]药液回收处理方法及药液回收处理装置、萤石的制造方法无效
| 申请号： | 200710307090.9 | 申请日： | 2004-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101200303A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 八嶋浩二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C01F11/22 | 分类号： | C01F11/22 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 药液 回收 处理 方法 装置 萤石 制造 | ||
1.一种萤石的制造方法，其特征在于，包括：
使含氟的药液只与碳酸钙混合，生成氟化钙的工序；以及，
回收所述氟化钙的工序。
2.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值小于等于7时，进行回收所述氟化钙的工序。
3.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为3～5时，进行回收所述氟化钙的工序。
4.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为5～7时，进行回收所述氟化钙的工序。
5.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在生成所述氟化钙的工序中，混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液是从pH值超过7的状态向pH值小于等于7的状态变化。
6.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在生成所述氟化钙的工序中，混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液是从pH值超过7、但小于等于9的状态向pH值为3～5的状态变化。
7.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
在生成所述氟化钙的工序中，混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液是从pH值超过7、但小于等于9的状态向pH值为5～7的状态变化。
8.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
所述含氟的药液是在半导体制造工序中利用的药液。
9.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
所述含氟的药液是氢氟酸。
10.根据权利要求1所述的萤石的制造方法，其特征在于：
所述含氟的药液是在半导体制造工序中利用的药液，是不含硼或磷的氢氟酸。
11.一种萤石的制造方法，其特征在于，包括：
使半导体制造工序中利用的含氟的药液只与碳酸钙混合，生成氟化钙的工序；以及
回收所述氟化钙的工序，
其中，在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为3～5时，进行回收所述氟化钙的工序。
12.一种萤石的制造方法，其特征在于，包括：
使半导体制造工序中利用的含氟的药液只与碳酸钙混合，生成氟化钙的工序；以及
回收所述氟化钙的工序，
其中，在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为5～7时，进行回收所述氟化钙的工序。
13.一种药液处理方法，其特征在于，包括：
通过使含氟的药液只与碳酸钙混合，从而生成氟化钙的工序；
回收所述氟化钙的工序；以及
将所述氟化钙作为原料，生成氢氟酸的工序。
14.根据权利要求13所述的药液处理方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值小于等于7时，进行回收所述氟化钙的工序。
15.根据权利要求13所述的药液处理方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为3～5时，进行回收所述氟化钙的工序。
16.根据权利要求13所述的药液处理方法，其特征在于：
在混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液的pH值为5～7时，进行回收所述氟化钙的工序。
17.根据权利要求13所述的药液处理方法，其特征在于：
在生成所述氟化钙的工序中，混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液是从pH值超过7的状态向pH值小于等于7的状态变化。
18.根据权利要求13所述的药液处理方法，其特征在于：
在生成所述氟化钙的工序中，混合了所述含氟的药液和所述碳酸钙的溶液是从pH值超过7、但小于等于9的状态向pH值为3～5的状态变化。
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