[发明专利]挥发性有机气体污染的处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种挥发性有机气体污染的处理装置，主要适宜于半导体生产中的产生废气的净化处理，属环保领域。

背景技术

半导体生产过程中，产生的废气里含有大量的挥发性有机气体，形成对大气环境的污染，例如异丙醇、丙酮、甲乙酮以及某些高沸点物质(例如去光阻剂的主要成份)等，目前处理这列废气通常采用转轮浓缩焚化方法、活性碳吸附方法及湿式洗涤方法，其中转轮浓缩焚化技术须消耗大量燃料，活性碳吸附技术则须经常更换活性碳，两者操作成本都很高，并且转轮浓缩焚化技术的经验发现，此技术对高沸点物质的去除效果差，且会破坏浓缩转轮所使用的吸附材料的吸附能力，导致对污染物的处理效率持续降低。湿式洗涤技术是根据这些污染物几乎全溶于水的特点，先将气相中的污染物转移至液相中再加以氧化去除，为维持较高的处理效率需要大量的清水并排放大量的废水。这种湿式洗涤技术是将氧化剂溶解在洗涤水中，氧化和洗涤同时进行，当氧化剂过多，会产生氧化剂残留在废气，而且氧化剂与污染物的接触时间短，处理效率降低，其选用的氧化剂有很多种，其中效率较高的是臭氧，由于目的臭氧在水及废水处理上主要用来消毒或去除部份有机物当作后续处理设备之前处理，因此其有机物处理效率不须很高，可以采用简单的单一反应槽设计，但用于有机物处理时，现有的反应槽的效率就显得比较低了。曾经有人提出了由氧化处理单元、回流单元和氧化槽构成的处理设备，在一定程度上改善了处理效果，但其系统结构比较复杂，处理效率也需要进一步提高。

发明内容

为克服现有技术的上述缺陷，本发明提供了一种挥发性有机气体污染的处理装置，采用这种设备的处理效果好，并且结构简单，运行费用相对较低。

本发明实现上述目的的技术方案是：一种挥发性有机气体污染的处理装置，包括洗涤塔、催化氧化罐、储液罐和臭氧发生器，所述洗涤塔内空间的中部设有若干洗涤液喷嘴，下部设有若干层筛板，上部设有气液分离装置，该洗涤塔的进气口连接于筛板下部的塔内空间，出气口连接于所述气液装置的出气端，所述催化氧化罐内装有光触媒颗粒，氧化罐的进气口位于其底部，出气口为其顶部，所述臭氧发生器设有将臭氧溶解于水的臭氧接触装置，所述洗涤塔的喷嘴管道同所述储液罐连接，底部排水口同所述的催化氧化罐底部的进水口连接所述的储液罐。

由于采用了由喷林洗涤和筛板洗涤构成的高效多级洗涤塔，洗涤效果好，减少了挥发性气体分子在气体中的残留，降低了处理后气体中的污染物浓度，提供了净化效果；由于设置了气液分离装置，减少了排放气体中夹带的洗涤液，不仅有利于减少洗涤液的消耗，而且还避免了因洗涤液中溶解的污染物对大气造成的污染；由于采用了催化剂下的臭氧氧化技术，提高了氧化速度和臭氧的有效利用率，减少了投资和运行成本，减少了洗涤水的净化程度，避免了对水的二次污染；由于催化氧化罐排出的水可以重新回到储液罐，形成了水的循环使用，减少了水的消耗量，并且使残留在水中的臭氧得以重新利用。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，一种挥发性有机气体污染的处理装置，包括洗涤塔100、催化氧化罐200、储液罐300和臭氧发生器500，所述洗涤塔内空间的中部设有若干洗涤液喷嘴103，下部设有若干层筛板106，上部设有气液分离装置102，该洗涤塔的进气口105连接于筛板下部的塔内空间，出气口101连接于所述气液装置的出气端，所述催化氧化罐内装有光触媒颗粒，所述臭氧发生器设有将臭氧溶解于水的臭氧接触装置，所述洗涤塔的喷嘴管道同所述储液罐连接，底部排水口同所述的催化氧化罐底部的进水口连接所述的储液罐。

所述筛板的数量可以是一层或两层，所述喷嘴在塔内空间的横截面上均匀分布，喷林出来的水落在筛板上形成水层，气体从筛板的下方穿过筛板将水向上顶，形成若干气泡，并通过与水的混合碰撞将挥发性气体溶解在水中，这种洗涤效率优于喷林洗涤。

所述气液分离装置可以若干折板构成，通过气流方向的改变使其中夹带的液体依靠惯性和重力的作用分离出来。

所述洗涤塔的出水口位于筛板下部塔体的一侧，以避免沉积在塔底部的污泥流入催化催化氧化器。

所述洗涤塔底部中央设有排污口104，用于排放沉积在塔低的污泥。

所述催化氧化罐内上可以设有照射在罐内的紫外灯201，所述紫外灯管上套由石英管，可以起到防护作用，通过紫外灯照射，可以保持光触媒颗粒的活性。

所述催化氧化罐可以设有挡在进水口处和出水口处的筛网，以避免光触媒颗粒留出，或者在上部设有溢流堰202。