[发明专利]一种氧化铒阻氢涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化铒阻氢涂层，其包括依次布设的基体，具有面心立方结构的ErFe₂或Er₆Fe₂₃合金层，和Er₂O₃涂层。

2.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层，其中所述基体为低活化马氏体钢或奥氏体钢。

3.根据权利要求2所述的氧化铒阻氢涂层，其中所述低活化马氏体钢为EuroFER97’或CLAM。

4.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层，其中所述Fe-Er金属过渡层和Er₂O₃涂层总厚度不超过15μm。

5.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层的制备方法，其中所述制备具有面心立方结构的ErFe₂或Er₆Fe₂₃合金层的步骤包括：

以ErFe₂或Er₆Fe₂₃靶为溅射制备靶材；先预抽真空至10^-5～10^-3Pa；然后通入Ar气进行直流溅射，溅射电流为0.2-2A，溅射气压为0.1Pa-30Pa，加热温度为300-600℃，靶基距30-80mm。

6.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层的制备方法，其中所述制备具有面心立方结构的ErFe₂或Er₆Fe₂₃合金层的步骤包括：

以ErFe₂或Er₆Fe₂₃靶为溅射制备靶材；先预抽真空至10^-5～10^-3Pa；然后通入Ar气进行射频溅射，射频功率为50-400W，溅射气压为0.1Pa-30Pa，加热温度为300-600℃，靶基距30-80mm。

7.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层的制备方法，其中所述制备Er₂O₃涂层的步骤包括：

先预抽真空至10^-5～10^-3Pa；然后通入Ar和O₂混合气体进行直流溅射，Ar/O₂气压比为1-50，溅射电流为0.2-2A，溅射气压为0.1Pa-30Pa，加热温度为300-600℃，靶基距30-80mm。

8.根据权利要求1所述的氧化铒阻氢涂层的制备方法，其中所述制备Er₂O₃涂层的步骤包括：

先预抽真空至10^-5～10^-3Pa；然后通入Ar和O₂混合气体进行射频溅射，Ar/O₂气压比为1-50，射频功率为50-400W；溅射气压为0.1Pa-30Pa，加热温度为300-600℃，靶基距30-80mm。