[发明专利]一种复合氧化铝/铒阻氢涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其包括依次布设的基体、金属过渡层和由Al₂O₃和Er₂O₃构成的复合涂层。

2.根据权利要求1所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述基体为低活化马氏体钢。

3.根据权利要求2所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述低活化马氏体钢为EuroFER97’或CLAM。

4.根据权利要求1所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述金属过渡层为Fe-Al合金，Fe的摩尔百分含量为20％-60％。

5.根据权利要求4所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述Fe-Al合金，Fe的摩尔百分含量为50％。

6.根据权利要求4或5所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述金属过渡层的厚度为1～5μm。

7.根据权利要求1所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述由Al₂O₃和Er₂O₃构成的复合涂层是组成为xAl₂O₃-(1-x)Er₂O₃(0＜x＜100％)的单层复合涂层。

8.根据权利要求1所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述由Al₂O₃和Er₂O₃构成的复合涂层是由x值不同的多层组成为xAl₂O₃-(1-x)Er₂O₃(0≤x≤100％)的复合涂层构成，在垂直于基体材料的方向上，各层的x值顺序递减。

9.根据权利要求1所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层，其中所述金属过渡层和Al₂O₃和Er₂O₃构成的复合涂层总厚度不超过15μm。

10.权利要求7所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层的制备方法，其步骤包括：

一、在基体上以化学气相沉积方式制备Fe-Al金属过渡层；

二、在该金属过渡层上以化学气相沉积方法制备组成为xAl₂O₃-(1-x)Er₂O₃(0＜x＜100％)的单层复合涂层，其步骤包括：向化学气相沉积设备反应室内按比例通入400～600℃金属Al盐和Er盐的蒸汽以及含氧源的反应气体，该反应气体与金属盐蒸汽的气压比为1～40，制备温度为800～1050℃，腔体气压20～600Pa。

11.权利要求8所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层的制备方法，其步骤包括：

一、在基体上以化学气相沉积方法制备Fe-Al金属过渡层；

二、在该金属过渡层上以化学气相沉积方法，根据不同的x值制备多层xAl₂O₃-(1-x)Er₂O₃(0≤x≤100％)复合涂层，其中每一层制备的制备步骤包括：向化学气相沉积设备反应室内按比例通入400～600℃金属Al盐和Er盐的蒸汽以及含氧源的反应气体，该反应气体与金属盐蒸汽的气压比为1～40；制备温度为800～1200℃，腔体气压20～600Pa。

12.根据权利要求10或11所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层的制备方法，其中所述Al盐为Al的卤化物。

13.根据权利要求12所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层的制备方法，其中所述Al盐为AlCl₃。

14.根据权利要求10或11所述的由氧化铝和氧化铒构成的阻氢涂层的制备方法，其中所述Er盐为Er-(tmhd)₃。