[发明专利]一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种稀土永磁体的制造方法，具体地说，涉及一种具 有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法。

背景技术

目前行业内离子镀铝的专利都是解决无压力状态下的湿热环境 下的耐腐蚀问题。对于高压湿热试验的耐腐蚀性能并没有做过细致研 究。例如：中国专利申请号为99800747.1、其发明名称为“耐腐蚀性 永磁体及其制造方法”；中国专利申请号为96192129.3、其发明名称 为“用于超高真空的永磁体及其制造方法”；中国专利申请号为 97198134.5、其发明名称为“耐蚀永磁体及其制备方法”，以及中国 专利申请号为99118337.1、其发明名称为“具有耐腐蚀膜的铁-硼-稀 土基永磁体及其制造工艺”均公开了一种解决无压力状态下的湿热环 境下的耐腐蚀问题。

此外，中国专利申请号为200410098355.1采用了电弧蒸发和电 场加速两种技术，但是这只能是一种技术的简单改进，可以提高粒子 能量，从而提高镀膜的结合力。但是电弧技术属于离子镀技术的一种， 其主要原理是在通过弧光放电技术轰击固定靶材，从而产生离子沉积 在工件表面。但是这种技术最大的缺点是容易在镀层表面产生大的液 滴颗粒。这些大颗粒不仅仅对产品外观产生不利影响，同时这些大颗 粒位置将会成为镀层被腐蚀的缺陷区域。因此，这种技术对于小件钕 铁硼产品并不适用。因此，该现有技术中提到的第三实施例中只是对 于电弧蒸发粒子提供了一种加速电场，并且主要作用提高粒子能量， 可以认为是电弧蒸发技术的改进。对于电弧蒸发的电流采取方波函 数，力图降低电弧技术产生液滴的数量，是对于蒸发过程的一种调整。 该现有技术并不具有重复性。因此，急需解决在高压、湿热条件下具 有耐腐蚀性能的产品。

发明内容

本发明正是为了解决上述问题而提出的。本发明的发明目的是提 供一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法，所述制造方法包括如 下步骤：

(1)对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理；

(2)对喷砂过的永磁体工件进行抽真空，在惰性气体下利用离子 源对磁体进行离子化轰击；

(3)离子化轰击后，在真空条件下，对铝材进行蒸发，将蒸发源 垂直方向匀速往复运动；并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬 靶材，在装载工件和真空室金属外壳炉体上加载一定的轰偏电压，形 成离子流，使铝材蒸发的铝蒸汽离子化，以使永磁体工件的表面形成 镀层沉积。

其中，在喷砂过程中，喷砂磨料为60～150目，压缩空气为 0.3～0.7Mpa。

其中，对喷砂过的永磁体工件进行抽真空至3×10^-3Pa。

其中，所述惰性气体包括氩气、氮气、氖气。

其中，在轰击功率≤2kw条件下进行离子源轰击。最好，开启离 子源对磁体离子化轰击15～30分钟，离子源电源功率为1～2kw。

其中，在蒸发过程中真空度为0.1Pa～3.0Pa。

其中，其中，在蒸发时，蒸发源在垂直方向匀速往复运动，且蒸 发距离是变化范围在0～20mm，速度调整范围在1～10mm/min。最好， 在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬靶块，其轰击电流设置为 100A。

其中，在所述蒸发源下方加入可传动的机械部分，该可传动的机 械部分是在蒸发源下方加入一个一个齿轮链条连接一个微型电机，通 过电机带动齿轮运动从而带动蒸发源在垂直方向往复运动，并可以通 过调整电机功率调节齿轮传动速度，实现蒸发源速度的可调。

其中，所述轰偏电压为方波函数。

在本发明如上所述的方法中，该方法的整个工艺流程是：喷砂- 抽真空-离子轰击-蒸发铝-同时加载方波电压及热弧Cr靶材轰击 两种离子化工艺提高蒸发中铝金属的离子化率达到提高镀层结合力 的效果，并因此改善了产品在高压、湿热条件下的耐腐蚀性能。

下面将说明本发明的工艺过程中的改进部分。

1、喷砂是材料镀膜的前处理工序过程。

传统的喷砂是一个通用技术，应用范围广泛，主要用于钢铁材料， 其对于磨料的使用(包括磨料类别和磨料尺寸)并没有特别的技术参 数和相关专利。