[发明专利]液滴喷出头、转换元件、压电装置、机电系统结构、执行机构、压电传感器、压电电动机

权利要求书

1. 一种液滴喷出头，其特征在于，包括：

基板；

腔部，位于所述基板的第一面侧；

压电薄膜，位于所述基板的第二面侧，并配置在与所述腔部对置的区域上；

盖部，位于所述基板的所述第一面侧，具有贯穿孔，且配置成覆盖所述腔部；以及

槽，位于所述基板的所述第二面侧，并配置在沿所述压电薄膜的端部的方向上。

2. 根据权利要求1所述的液滴喷出头，其特征在于，

在将所述压电薄膜的靠近所述槽侧的端部、与所述槽的靠近所述压电薄膜的端部之间的距离设定为x，并将所述槽的深度设定为d的情况下，所述槽满足以下关系式1：

0.2d(-4.6x+42.8)≥1    关系式1，

其中，x和d的单位为μm。

3. 根据权利要求1所述的液滴喷出头，其特征在于，

在将所述压电薄膜的靠近所述槽侧的端部、与所述槽的靠近所述压电薄膜的端部之间的距离设定为x，将所述槽的深度为d的情况下，所述槽满足以下关系式2：

0.2d(-4.6x+42.8)≥5    关系式2，

其中，x和d的单位为μm。

4. 根据权利要求1至3中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

所述压电薄膜的靠近所述槽侧的端部与所述槽的靠近所述压电薄膜的端部之间的距离为1μm以上。

5. 根据权利要求1至4中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

在所述液滴喷出头中形成有所述槽，所述槽的深度为10μm以下。

6. 根据权利要求1至5中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

在所述槽中配置有与所述基板相比拉伸弹性模量小的填充物。

7. 根据权利要求1至6中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

所述基板含有硅。

8. 根据权利要求1至7中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

所述填充物是多孔氧化硅。

9. 根据权利要求1至8中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

所述腔部包括：

贯穿孔部，贯穿所述基板；以及

可动板，位于所述基板的所述第二面侧，覆盖所述贯穿孔部。

10. 根据权利要求1至8中任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，

所述腔部将所述基板的一部分用作可动板。

11. 一种液滴喷出头，其特征在于，包括：

基板；

腔部，形成在所述基板上；

盖部件，配置于所述基板的第一面侧，并具有用于喷出所述腔部内的液体的喷出口；

可动板，配置于所述基板的第二面侧；

材料加压体，与所述可动板接触，并通过第一电极和第二电极来夹持压电薄膜；以及

槽或凹部，设置在所述基板的所述第二面侧。

12. 一种能量转换元件，其特征在于，包括：

基板；

可挠部，配置于所述基板的第一面侧；

能量转换部，将电力转换为所述可挠部的挠曲、或者将所述可挠部的挠曲转换为电力；以及

槽和凹部中的至少一个，沿所述能量转换部的端部，设置在所述基板的所述第一面侧。

13. 根据权利要求12所述的能量转换元件，其特征在于，

在将所述能量转换部的靠近所述槽或所述凹部侧的端部、与所述槽或所述凹部的靠近所述能量转换部的端部之间的距离设定为x，并将所述槽或所述凹部的深度设定为d的情况下，所述槽或所述凹部满足以下关系式4：

0.2d(-4.6x+42.8)≥1    关系式4，

其中，x和d的单位为μm。

14. 根据权利要求12所述的能量转换元件，其特征在于，

在将所述能量转换部的靠近所述槽或所述凹部侧的端部、与所述槽或所述凹部的靠近所述能量转换部的端部之间的距离设定为x，并将所述槽或所述凹部的深度设定为d的情况下，所述槽或所述凹部满足以下关系式5：

0.2d(-4.6x+42.8)≥5    关系式5，

其中，x和d的单位为μm。