[发明专利]隔离子及场致发射显示器件的制造方法

权利要求书

1.一种隔离子的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

a、清洁制作阴极电极的平板玻璃；

b、在玻璃上涂覆一层感光胶，并进行刻蚀，形成隔离子并剥离剩余的感光胶；

c、在此结构上再涂覆一层感光胶，通过掩模版进行第二次曝光，经过曝光刻蚀后，剥离剩余的感光胶。

2.如权利要求1所述的隔离子的制造方法，其特征在于：

步骤a中采用超声波、纯水、或二流体清洗方法。

3.如权利要求1所述的隔离子的制造方法，其特征在于：

步骤b中使用玻璃刻蚀液进行刻蚀，且光刻胶不受玻璃刻蚀液影响。

4.如权利要求1所述的隔离子的制造方法，其特征在于：

步骤b中刻蚀前通过曝光去除多余的感光胶。

5.一种场致发射显示器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

a、清洁制作阴极电极的平板玻璃；

b、以权利要求1至4中任意一种方法在玻璃表面上制作隔离子；

c、在形成隔离子的玻璃上制作阴极电极接触面；

d、在玻璃上制作形成阴极电极和栅极电极；

e、在阴极电极上制作出发射材料，与涂敷有荧光粉、黑条、和阳极电极的另一玻璃基板进行封接。

6.如权利要求5所述的场致发射显示器件的制造方法，其特征在于：

步骤e中保持隔离子与黑条一一对应。

7.如权利要求5所述的场致发射显示器件的制造方法，其特征在于：

步骤d中采用真空蒸镀或磁控溅射方法。