[发明专利]非球面镜面误差分析系统及方法

权利要求书

【权利要求1】一种非球面镜面误差分析系统，用于对非球面镜面工件的测量数据与设计数据进行误差分析，其特征在于，该系统包括：

数据获取模块，用于获取工件的设计数据及测量数据；

误差分析模块，用于根据设计数据生成设计曲线，以及根据测量数据生成测量曲线，对测量曲线进行坐标变换，将测量曲线中的测量点的坐标从测量坐标系变换为非球面镜面坐标系，计算设计曲线以及坐标变换后的测量曲线之间的误差的大小，获取误差分析数据并根据该误差分析结果生成误差曲线；及

输出模块，用于输出误差分析数据以及误差曲线。

【权利要求2】如权利要求1所述的非球面镜面误差分析系统，其特征在于，该系统还包括拟合模块，用于利用最小二乘法对误差分析数据进行拟合，通过将设计数据与测量数据之间的误差最小化以得到非球面镜面的光学参数。

【权利要求3】如权利要求1所述的非球面镜面误差分析系统，其特征在于，所述的拟合模块还用于对获取的误差分析数据进行平滑去噪处理。

【权利要求4】如权利要求1所述的非球面镜面误差分析系统，其特征在于，该系统还包括补正数据生成模块，用于预设补正参数，并根据误差曲线生成补正数据以进行补正加工。

【权利要求5】如权利要求1所述的非球面镜面误差分析系统，其特征在于，所述的误差分析模块计算的误差大小包括误差曲线的峰谷值与波前均方根值。

【权利要求6】一种非球面镜面误差分析方法，用于对非球面镜面工件的测量数据与设计数据进行误差分析，其特征在于，该方法包括如下步骤：

获取工件的设计数据与测量数据；

根据测量数据生成测量曲线，以及根据设计数据生成设计曲线；

对测量曲线进行坐标变换，将测量曲线中的测量点的坐标从测量坐标系变换为非球面镜面坐标系；

计算设计曲线以及坐标变换后的测量曲线之间的误差的大小；

获取误差分析数据；

根据误差分析数据生成误差曲线；及

输出误差分析数据以及误差曲线。

【权利要求7】如权利要求6所述的非球面镜面误差分析方法，其特征在于，该方法在获取误差分析数据步骤之后还包括如下步骤：

对获取的误差分析数据进行平滑去噪处理。

【权利要求8】如权利要求6所述的非球面镜面误差分析方法，其特征在于，该方法在获取误差分析数据步骤之后还包括如下步骤：

利用最小二乘法对误差分析数据进行拟合；及

将设计数据与测量数据之间的误差最小化以得到非球面镜面的光学参数。

【权利要求9】如权利要求6所述的非球面镜面误差分析方法，其特征在于，该方法还包括如下步骤：

预设补正参数；及

在根据误差分析数据生成误差曲线步骤之后，根据误差曲线与预设的补正参数生成补正数据用于对该工件进行补正加工。

【权利要求10】如权利要求6所述的非球面镜面误差分析方法，其特征在于，所述计算的误差大小包括误差曲线的峰谷值与波前均方根值。