[发明专利]平整度的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种平整度的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

提供一种平整度的检测装置，所述检测装置包括：承载装置，其包括承 载台和与承载台相连的驱动器，所述承载台用于承载待测物体，所述驱动器 用以驱动所述承载台绕其中心轴线转动；控制器，其与所述承载装置相连， 用以控制所述驱动器驱动所述承载台转动及分析所述待测物体的平整度，所 述控制器包括与所述驱动器相连的驱动控制模块、与所述驱动控制模块相连 的数据处理模块以及分别与所述驱动控制模块和数据处理模块相连的人机 界面，所述驱动控制模块用于控制所述驱动器驱动所述承载台转动的旋转角 度，所述数据处理模块用于记录所述承载台的旋转角度，所述人机界面用于 输入指令并直观显示待测物体的平整度；及非接触式测高装置，其设于所述 承载装置上方，与所述承载台相对，并与所述控制器的数据处理模块相连， 用于连续记录所述待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度值， 并将所测量的高度值传输给所述控制器的数据处理模块，以使所述数据处理 模块分析所测量的高度值；

将待测物体置于所述承载装置的承载台，且使所述待测物体的中心轴线 与所述承载台的中心轴线位于同一直线；

所述控制器控制所述驱动器以驱动所述承载台转动，使所述承载台带动 所述待测物体绕所述承载台的中心轴线转动，选取参照点，所述非接触式测 高装置连续测量所述待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度 值，并将所测量的高度值传输给所述控制器，所述多个测量点位于待测物体 的检测面的一个圆周；

所述控制器的数据处理模块分析各测量点的高度值，并记录所述承载台 的旋转角度，所述分析各测量点的高度值包括分别以各测量点的高度值和承 载台旋转角度为坐标系的两坐标轴，作各测量点的高度值与对应的承载台旋 转角度的图形，从而得出所述待测物体的平整度。

2.根据权利要求1所述的平整度的检测方法，其特征在于，所述参照点是收 容件表面的一点或是承载台的承载面内的一点。

3.一种平整度的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

提供一种平整度的检测装置，所述检测装置包括：承载装置，其包括承 载台和与承载台相连的驱动器，所述承载台用于承载待测物体，所述驱动器 用以驱动所述承载台绕其中心轴线转动；控制器，其与所述承载装置相连， 用以控制所述驱动器驱动所述承载台转动及分析所述待测物体的平整度，所 述控制器包括与所述驱动器相连的驱动控制模块、与所述驱动控制模块相连 的数据处理模块以及分别与所述驱动控制模块和数据处理模块相连的人机 界面，所述驱动控制模块用于控制所述驱动器驱动所述承载台转动的旋转角 度，所述数据处理模块用于记录所述承载台的旋转角度，所述人机界面用于 输入指令并直观显示待测物体的平整度；及非接触式测高装置，其设于所述 承载装置上方，与所述承载台相对，并与所述控制器的数据处理模块相连， 用于连续记录所述待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度值， 并将所测量的高度值传输给所述控制器的数据处理模块，以使所述数据处理 模块分析所测量的高度值；

将待测物体置于所述承载装置的承载台，且使所述待测物体的中心轴线 与所述承载台的中心轴线位于同一直线；

所述控制器控制所述驱动器以驱动所述承载台转动，使所述承载台带动 所述待测物体绕所述承载台的中心轴线转动，选取参照点，所述非接触式测 高装置连续测量所述待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度 值，并将所测量的高度值传输给所述控制器，所述多个测量点位于待测物体 的检测面的一个圆周；

所述控制器的数据处理模块分析各测量点的高度值，并记录所述承载台 的旋转角度，所述分析各测量点的高度值包括分别以各测量点的高度值和承 载台旋转时间为坐标系的两坐标轴，作各测量点的高度值与对应的承载台旋 转时间的图形，从而得出所述待测物体的平整度。