[发明专利]测量设备及采用该测量设备的测量方法

权利要求书

1.一种测量设备，其特征在于：该测量设备包括一个第一接触式测长装置、一个基准件及一个控制器，该控制器与该第一接触式测长装置电连接，该基准件具有一个第一基准平面，该第一接触式测长装置具有一个测量头，该测量头在测量时与第一基准平面保持接触。

2.如权利要求1所述的测量设备，其特征在于：该测量设备还包括一个第二接触式测长装置，该基准件还包括一个与第一基准平面相互垂直的第二基准平面；该第二接触式测长装置具有一个测量头，该测量头在测量时与第二基准平面保持接触。

3.如权利要求2所述的测量设备，其特征在于：该基准件包括分立的第一基准平板及第二基准平板，该第一基准平面设于第一基准平板上，该第二基准平面设于第二基准平板上，该第一基准平板与第二基准平板相互垂直设置，以使第一基准平面与第二基准平面相互垂直。

4.如权利要求2所述的测量设备，其特征在于：该基准件包括一个基板及由该基板一侧垂直该基板延伸形成的侧板，第一基准平面设于该基板上，第二基准平面设于侧板上。

5.如权利要求2所述的测量设备，其特征在于：该第一接触式测长装置及第二接触式测长装置分别包括至少一个驱动气缸，其用于驱动与该驱动气缸相连的测量头。

6.如权利要求5所述的测量设备，其特征在于：该驱动气缸设置有气体排出结构以使测量头平稳的移动，该气体排出结构包括开设在驱动气缸封闭端的贯通孔、开设在驱动气缸侧壁上的贯通孔、设在驱动气缸与插入该驱动气缸开口端的吹气管之间的间隙中的任意一种结构或多个结构的组合。

7.如权利要求6所述的测量设备，其特征在于：该第一接触式测长装置及第二接触式测长装置还包括一个光学标尺和一个光感应器，该光学标尺或光感应器之一可与测量头一起移动，该光感应器用于读取该光学标尺的刻度。

8.一种测量方法，用于测量滑动件在沿第一方向延伸的导轨上的运动误差，其特征在于包括以下步骤：(1)提供一个测量设备，一个第一接触式测长装置、一个基准件及一个控制器，该控制器与该第一接触式测长装置电连接，该第一接触式测长装置具有一个可伸缩的测量头，该基准件具有一个第一基准平面；(2)将第一接触式测长装置设置于滑动件上，且使第一接触式测长装置的测量头可沿垂直于第一方向的第二方向伸缩运动；(3)将基准件定位，以使第一接触式测长装置的测量头与基准件的第一基准平面相抵；(4)使滑动件沿导轨移动，该第一接触式测长装置的测量头与第一基准平面保持接触；(5)控制器根据第一接触式测长装置的测量结果得出滑动件沿第二方向的真实运动轨迹，并与预定运动轨迹比较，得出该滑动件沿第二方向的运动误差。

9.如权利要求8所述的测量方法，其特征在于：该测量设备还包括一个第二接触式测长装置，该第二接触式测长装置具有一个可伸缩的测量头，该基准件还包括一个与第一基准平面相互垂直的第二基准平面；将该第二接触式测长装置设置于滑动件上，且使第二接触式测长装置的测量头可沿垂直于第一、第二方向的第三方向伸缩运动，该第二接触式测长装置的测量头在测量时与基准件的第二基准平面保持接触；控制器根据第二接触式测长装置的测量结果得出滑动件沿第三方向的真实运动轨迹，并与预定运动轨迹比较，得出该滑动件沿第三方向的运动误差。

10.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于：该第一接触式测长装置及第二接触式测长装置还包括一个光学标尺和一个光感应器，该光学标尺或光感应器之一可与测量头一起移动，该光感应器用于读取该光学标尺刻度，并将读取到的数据传送给控制器。