[发明专利]具有用于冷却晶片的冷却路径的卡盘座

权利要求书

1.一种卡盘座，包括：

座体，用于支撑其上定位晶片的卡盘；以及

冷却通道，用于冷却所述卡盘，所述冷却通道包括：

弯曲部分，其在所述卡盘座的表面下从所述卡盘座的中心向外延伸，所述弯曲部分与所述卡盘相对，呈十字形状；以及

圆形部分，连接到所述弯曲部分，所述圆形部分形成为围绕所述十字形部分的圆形。

2.如权利要求1的卡盘座，还包括：

连接部分，设置在所述十字形部分的一端以及所述圆形部分的一端之间，用于连接所述十字形部分和所述圆形部分，从而

所述冷却通道在所述十字形部分的另一端开始，而在所述圆形部分的另一端结束。

3.如权利要求1的卡盘座，其中

所述座体提供有四个第一通孔，将所述晶片定位在所述卡盘上的提升针插入穿过所述第一通孔，以及

所述冷却通道被弯曲使得所述四个第一通孔被设置在所述十字形部分和所述圆形部分之间，且所述十字形部分围绕所述第一通孔延伸。

4.如权利要求1的卡盘座，其中

所述座体提供有第二通孔，用于将产生静电力所必需的电功率提供给所述卡盘，以及

所述冷却通道被弯曲使得所述十字形部分围绕所述第二通孔的内部部分而延伸。