[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板

说明书

技术领域

本发明涉及图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板。

背景技术

作为在基板上形成所期望的图案的方法，成为有效的方案而倍受关注的是使功能液以液滴状态喷出的喷墨方式(例如专利文献1)。

喷墨方式具备：载置基板的台架(stage)、将含有功能材料的功能液以液滴状态喷出到基板上的液滴喷头、和使基板(台架)与液滴喷头二维地相对移动的机构。喷墨方式通过基板与液滴喷头的相对移动，将从液滴喷头喷出的液滴配置到基板表面的任意位置。顺次配置到基板表面的各液滴被配置成液滴润展的范围相互重叠，由此，可形成无间隙地覆盖基板表面、且由功能液构成的图案。

在基板表面相对功能液具有疏液性的情况下，基板表面吸引液滴的力比相互接触的液滴彼此之间吸引的力弱。因此，在基板表面，功能液集中于局部位置。如果产生这种局部集中，则功能液不会均匀地覆盖基板表面。并且，如果局部集中进一步发展，则基板表面的一部分会因为缺少功能液而露出。

在喷墨方式中，为了避免这种局部集中，在使相互接触的液滴之间重叠时，需要在滴落后续的液滴之前，使先前滴落的液滴充分干燥，结果造成图案形成需要很长时间。鉴于此，提出了一种在喷墨方式中通过对基板预先进行加热，来使滴落的液滴快速干燥的方法(例如专利文献2、专利文献3)。

【专利文献1】特开2004-347695号公报

【专利文献2】特开2004-306372号公报

【专利文献3】特开平11-281985号公报

然而，如果提高基板温度，则滴落的液滴会突沸，导致无法形成图案。因此，提高基板温度的方法在升高干燥速度方面存在界限，因此，在进一步缩短图案形成所需要的时间方面存在限制。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的方案，其目的在于，提供可在短时间内形成高精度图案的图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板。

本发明的图案形成方法用于在基板上形成图案，通过将由含有功能材料的功能液构成的液滴喷出到被加热的通气性基板的上面，从而在所述通气性基板的上面形成图案。

根据本发明的图案形成方法，可通过被加热的基板促进滴落液滴的蒸发。由于基板是通气性基板，所以，液滴的蒸发成分还会向基板的内部扩散。因此，本发明的图案形成方法可以提高液滴的干燥速度。

在该图案形成方法中，当喷出所述液滴时，对所述通气性基板的下侧进行减压。

根据该图案形成方法，液滴的蒸发成分还会向基板的内部扩散。此时，由于通气性基板的下侧被减压，所以，可促进向通气性基板内部的扩散。结果，该图案形成方法可进一步提高液滴的干燥速度。

在该图案形成方法中，当喷出所述液滴时，将所述通气性基板载置于具有通气性的多孔质性台架上，使所述通气性基板吸附于所述台架。

根据该图案形成方法，由于通气性基板被载置于具有通气性的多孔质台架上，所以，当对通气性的台架下侧进行减压时，可以对通气性基板下侧的整体均匀地减压。因此，滴落于通气性基板的液滴不被滴落的位置左右，能够均匀地促进与通气性基板相接一侧的蒸发。

在该图案形成方法中，将所述通气性基板的表面温度设定为在喷出所述液滴时的功能液的温度以上、且低于所述功能液中含有的液体组成的沸点。

根据该图案形成方法，由于通气性基板的表面温度为喷出时功能液的温度以上，所以，滴落于通气性基板的液滴直接开始干燥。并且，由于通气性基板的表面温度低于液体组成的沸点，所以，液滴不会在基板上突沸。结果，该图案形成方法可以在短时间内形成高密度、高精细的图案。

在该图案形成方法中，所述通气性基板是多孔质性基板，是由陶瓷粒子和树脂构成的低温烧成用薄板，所述功能液是分散有作为功能材料的金属粒子的液体。

根据该图案形成方法，能够在多孔质性基板上干净且短时间地形成由金属膜构成的图案。

本发明的液滴喷出装置具有：载置基板的台架、和将含有功能材料的功能液作为液滴喷出的液滴喷头，通过使所述台架和所述液滴喷头相对移动，并且从所述液滴喷头向载置于所述台架的所述基板的上面喷出所述液滴，从而在所述基板的上面形成图案，其中，所述基板是通气性基板，所述台架具有加热所述基板的加热机构。

根据本发明的液滴喷出装置，可通过加热的基板促进滴落液滴的蒸发。由于基板是通气性基板，所以，液滴的蒸发成分还向基板的内部扩散。因此，本发明的图案形成方法可提高液滴的干燥速度。