[发明专利]一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器无效
| 申请号： | 200710192634.1 | 申请日： | 2007-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101182634A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 凌云;黄浪尘 | 申请（专利权）人： | 湖南冶金职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;C23C16/50;G05B15/02 |
| 代理公司： | 株洲市美奇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张继纲 |
| 地址： | 412011*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 镀膜 机智 一体化 控制器 | ||
1.一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器，它包括单片机(U1)、触摸显示单元(U2)、A/D转换单元(U3)、D/A转换单元(U4)、放大器单元(U5)、驱动单元(U6)、继电器单元(U7)和开关量输入单元(U8)，其特征在于：
所述单片机(U1)通过I/O接口与触摸显示单元(U2)连接，用于人机信息交换；
所述单片机(U1)通过I/O接口与A/D转换单元(U3)连接，控制A/D转换器实时采集真空多弧离子镀膜机镀膜室温度、镀膜室真空压强、充气流量、工件负偏压、电弧源电流、电弧源电压的模拟量信息；
所述单片机(U1)通过I/O接口与D/A转换单元(U4)连接，将控制量转换成电压信号，再由放大器单元(U5)进行电压、功率放大，控制真空多弧离子镀膜机镀膜室温度、镀膜室真空压强、充气流量、工件负偏压、电弧源电流及电弧源电压；
所述单片机(U1)通过I/O接口输出开关信号实现引弧控制、真空泵启停控制、真空管路电磁阀门控制、充气阀门控制、工件旋转控制、电源控制及报警输出；
所述单片机(U1)还通过I/O接口输入开关信号实现冷却水压力检测、关键真空压强点检测及紧急控制开关信号的输入。
2.根据权利要求1所述的一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器，其特征是：所述的单片机(U1)选用以高速8051微控制器为内核的C8051F020混合信号微控制器，所述的触摸显示单元(U2)选用MT500触摸屏，所述的A/D转换单元(U3)由2片分辨率12位、多模拟量输入通道的TLC2543组成，所述的D/A转换单元(U4)由2片8位分辨率、多模拟量输出通道的MAX521组成，所述的放大器单元(U5)由4片LM324通用运放组成，所述的驱动单元(U6)由3片型号为ULN2003的驱动器组成，所述的继电器单元(U7)由19个型号为HK3FF-DC12V-SH的继电器组成，而所述的开关量输入单元(U8)由1片74HC244缓冲器组成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
