[发明专利]臭氧标准气体发生装置

权利要求书

1.臭氧标准气体发生装置由低压汞灯微区辐射系统、光敏探测控制系统和动态定量稀释系统三大部分组成。其特征在于：

气源(1)产生一定气压的高纯氧气或空气经稳压阀(2)稳压后，由纯化器(3)除去水、臭氧等杂质，由质量流量计(4)计量流量并进一步稳流后分为两路气：一路气进入内含臭氧发生源的恒温低压汞灯微区辐射池(5)，辐射池的温度由辐射池控温器(9)来保证恒定，辐射池控温器(9)、灯电流控制器(10)和系统风冷部分(12)接系统电源部分(11)，灯电流控制器(10)与系统风冷部分(12)相接，辐射产生的臭氧经压力计(7)、截止阀(8)和浮子流量计(13)控制流量后，进入臭氧稀释池(14)，灯电流控制器(10)根据光敏探测器(6)测得的低压汞灯的辐射强度变化来控制汞灯产生的臭氧量并保持稳定，另一路气经截止阀(8)和浮子流量计(13)直接流入臭氧稀释池(14)，两路气在臭氧稀释池混合后，通过调节流量产生不同浓度的臭氧标准气体，通过针阀(15)调节臭氧标准气体的排空或校准气的流量，由标准气体口导出应用或由排空口排空。